程新民
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驅動方式 | 電動 |
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千島泵業-螺桿真空泵
一、概況
千島泵業變螺距螺桿真空泵具有兩個反向旋轉變螺距螺桿轉子,其在泵殼中作同步高速嚙合運動,完成進排氣工作循環。變螺距螺桿相比普通螺桿具有更好的壓縮和抽*率,排氣溫度更低、噪聲更小、能耗更低。變螺距螺桿真空泵的轉子型線采用自主設計的*線型,由一對斜齒齒輪驅動,以順時針方向轉動(從電機風扇端側觀察)。在螺桿轉動時,二個螺桿之間、螺桿和泵體之間都保持一定的間隙互不接觸,因而運轉時泵腔內無摩擦,可以實現轉子的高轉速運轉。依靠轉子間隙和泵腔間隙進行密封,將被抽氣體通過螺桿轉子平順地壓送到排氣口,并直接排出泵腔,螺桿兩端的油封確保齒輪箱內的潤滑油無法進入泵腔內部。螺桿真空泵為臥式結構,采用聯軸器與電機直連。其泵腔無油運轉清潔環保,是油封式、噴射式、液環式真空泵的更好換代產品。變螺桿轉子可實現客戶定制化設計與制造,更好滿足客戶需求。 廣泛應用于電子光伏、醫療、醫藥化工、食品加工、包裝、石油化工、半導體等行業。
●在半導體合成及液晶生產上,主要有半導體等離子增強氣相沉淀和反映離子刻蝕工藝,液晶生產蝕刻制程和生產TFT熒幕電漿的CVD制程中。
●在石油化工生產上,主要是抽取可凝性氣體,或有害氣體,或腐蝕性氣體,或含有微塵的氣體。
●在制藥行業上,主要用于藥物的真空干燥,醫藥中間體回收,回收氣體消毒劑等。
●在化工行業生產上,主要用于真空蒸餾及溶劑萃取回收。
●在食品行業生產上,主要用于香料、香精濃縮,包裝,脫水干燥。
二、千島泵業-螺桿真空泵 主要特點
●與等螺距螺桿泵相比,抽氣效率更高,能耗更低。
●抽速范圍廣,可直排大氣,單泵使用即可達到多級串聯的效果。單級設計可以獲得5PA的真空度。
●可采用氮氣吹掃,清洗維護操作簡單,維修方便。
●螺桿材質為整體式球墨鑄鐵強度高、性能穩定。
●螺桿間相互不接觸無摩擦,不需要潤滑油脂,無油污反流,無廢氣廢液排放,清潔環保能耗低。
●泵腔內部及零件可根據需要進行防腐處理(鍍鎳或滲哈氏合金防腐),適用一般的腐蝕性工況。
●螺桿經過精細動平衡校正,運轉平穩,噪聲低、振動小,使用壽命長。
三、螺桿真空泵 規格參數
型號 | 單位 | VDP35 | VDP70 | VDP110 | VDP180 | VDP280 | VDP390 | VDP550 | VDP650 | VDP800 | VDP1100 | VDP1500 | VDP2000 | VDP2800 |
抽速 | m3/Hr | 60 | 70 | 110 | 180 | 280 | 390 | 550 | 650 | 800 | 1100 | 1500 | 2000 | 2800 |
L/S | 17 | 19 | 31 | 50 | 78 | 108 | 153 | 181 | 222 | 306 | 417 | 556 | 778 | |
極限壓力 | Torr | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 |
Pa | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | |
電機功率 | KW | 1.5 | 3 | 4 | 5.5 | 7.5 | 11 | 15 | 18.5 | 22 | 30 | 45 | 55 | 75 |
電機轉速 | RPM | 2900 | 2900 | 2900 | 2900 | 2900 | 2900 | 2900 | 2900 | 2900 | 2900 | 2900 | 2900 | 2900 |
進口法蘭 | mm | DN40 | DN40 | DN40 | DN40 | DN80 | DN80 | DN100 | DN100 | DN100 | DN125 | DN125 | DN150 | DN150 |
出口法蘭 | mm | DN25 | DN30 | DN30 | DN30 | DN40 | DN40 | DN50 | DN65 | DN65 | DN80 | DN80 | DN100 | DN100 |
冷卻水壓力 | barg | 2~4 | 2~4 | 2~4 | 2~4 | 2~4 | 2~4 | 2~4 | 2~4 | 2~4 | 2~4 | 2~4 | 2~4 | 2~4 |
冷卻水流量 | L/min | 4 | 4 | 6 | 6 | 6 | 6 | 8 | 8 | 8 | 8 | 16 | 16 | 16 |
冷卻水溫度 | ℃ | 5~35 | 5~35 | 5~35 | 5~35 | 5~35 | 5~35 | 5~35 | 5~35 | 5~35 | 5~35 | 5~35 | 5~35 | 5~35 |
噪聲 | dB | ≤70 | ≤70 | ≤70 | ≤70 | ≤75 | ≤75 | ≤75 | ≤80 | ≤80 | ≤80 | ≤85 | ≤85 | ≤85 |
尺寸 | mm | 700*450*550 | 745*450*550 | 953*520*600 | 973*600*680 | 1123*640*680 | 1357*640*680 | 1516*780*800 | 1609*780*800 | 1690*780*800 | 1786*840*930 | 2250*880*1100 | 2250*880*1100 | 2250*1400*1370 |
重量 | Kg | 200 | 220 | 250 | 290 | 320 | 450 | 580 | 650 | 1050 | 1200 | 1800 | 2100 | 2500 |
四、螺桿真空泵 剖面圖
五、螺桿真空泵 性能曲線
六、螺桿真空泵 外形尺寸
型號 | A | A1 | A2 | A3 | A4 | B | B1 | ΦA | DN1 | DN2 | H | H1 | H2 | ΦB |
VDP35 | 899 | 582 | 527 | 47 | 214 | 500 | 210 | 20 | 40 | 25 | 423 | 79.5 | 584 | Φ14 |
VDP70 | 1006 | 629 | 574 | 47 | 258 | 520 | 235.5 | 20 | 40 | 30 | 443 | 87 | 592 | Φ14 |
VDP110 | 953 | 613 | 483 | 30 | 258 | 619 | 270 | 22 | 40 | 30 | 415 | 68 | 573 | Φ14 |
VDP180 | 953 | 613 | 483 | 30 | 275 | 619 | 270 | 22 | 40 | 30 | 415 | 68 | 573 | Φ14 |
VDP280 | 1204 | 720 | 543 | 36 | 320 | 640 | 340 | 32 | 80 | 40 | 526 | 106 | 760 | Φ14 |
VDP390 | 1357 | 757 | 584 | 46 | 320 | 640 | 340 | 32 | 80 | 40 | 526 | 90 | 680 | Φ14 |
VDP550 | 1440 | 879 | 673 | 46 | 410 | 780 | 436 | 42 | 100 | 50 | 607 | 140 | 930 | Φ18 |
VDP650 | 1545 | 909 | 697 | 51 | 410 | 780 | 436 | 42 | 100 | 65 | 647 | 120 | 907 | Φ18 |
VDP800 | 1736 | 964 | 752 | 51 | 410 | 780 | 436 | 42 | 100 | 65 | 647 | 120 | 907 | Φ18 |
VDP1100 | 1747 | 1011 | 790 | 51 | 450 | 961 | 498 | 55 | 125 | 80 | 765 | 150 | 1105 | Φ22 |
VDP1500 | 2055 | 1235 | 1005 | 80 | 780 | 1250 | 560 | 60 | 125 | 80 | 790 | 200 | 990 | Φ22 |
VDP2000 | 2580 | 1650 | 1455 | 85 | 1000 | 1350 | 610 | 80 | 150 | 100 | 806 | 220 | 1100 | Φ28 |
七、羅茨螺桿真空機組
1、以螺桿泵為前級泵,羅茨泵為主泵,配置各類儀表、閥門、機架和電器控制系統組合而成。
2、抽氣范圍更廣、真空度更高,滿足客戶對高真空、大抽速的要求。
3、羅茨泵選用三葉羅茨真空泵,螺桿泵選用無油干式變螺距螺桿真空泵,按客戶要求是否防腐處理。
4、羅茨螺桿真空機組型號:LCVDP-300-280,LCVDP-600-300-280等,可按照客戶要求配置。