氣動隔膜真空泵的檢修與其它形式的泵有所不同，其要點如下：

1、對泵閥檢查應注意密封環是否老化變形，彈簧彈力是否嚴重降低，閥口與閥芯有無磨損、腐蝕等缺陷，安裝時閥端面應與泵體法蘭面平，不能凹進;

2、膜片更換時，拆裝泵頭應預先吊起，防止墜落損壞;

3、調節機構拆裝時要標定沖程長度位置（沖程長度為5mm），卸下刻度表座，將刻度環滑入標定位置，測量的沖程長度應與刻度表*一致;

4、活塞拆卸時，要用尖頭工具把填料環從其槽內取出，注意不要損壞環槽;

5、蝸桿蝸輪要進行檢查，其齒應完好無損，不應有裂紋或斷齒，安裝時要檢查嚙合接觸情況。