車間油霧凈化設(shè)備的凈化作用機理包含兩個方面：
 

　　一、在產(chǎn)生等離子體的過程中，高頻放電所產(chǎn)生的瞬間高能足夠打開一些有害氣體分子的化學(xué)能，使之分解為單質(zhì)原子或無害分子；
 

　　二、等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分臭氣分子碰撞結(jié)合，在電場作用下，使臭氣分子處于激發(fā)態(tài)。當臭氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結(jié)合能時，臭氣分子的化學(xué)鍵斷裂，直接分解成單質(zhì)原子或由單一原子構(gòu)成得無害氣體分子。同時產(chǎn)生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性較強的O3，與有害氣體分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成無害產(chǎn)物。
 

　　三、車間油霧凈化設(shè)備還有一定的凈化作用，具備顯著的生物效應(yīng)。發(fā)生的靜電作用在各種細菌、病毒等微生物表面產(chǎn)生的電能剪切力大于細胞膜表面張力，使細胞膜遭到破壞，導(dǎo)致微生物死亡。因此低工業(yè)空氣凈化器除臭技術(shù)具有較好的消毒殺菌之功效。