氨氣凈化塔
氣體在線監測預處理系統
技術方案
一、概況
根據貴方提出的氨氣凈化塔測量需求，公司所推出的SK-7500-GAS-JY型、SK-7500-GAS-SSY型氣體在線監測預處理系統可以連續監測硫酸霧、NH3、HCL等多項相關參數。
固定污染源氣體在線監測預處理系統是東日瀛能科技針對環境中固定污染源的煙氣、廢氣等氣體進行實時在線監測的一種氣體檢測產品；是集氣體采樣、氣體過濾、氣體降溫除濕、流量控制、實時濃度顯示、無線數據上傳、環保聯網、本地聲光報警、設備聯動等功能為一體的標準化、模塊化、專業化揮發性氣體檢測儀系統集成產品；產品采用專業三防設計，直接戶外使用；氣體在線監測預處理系統經主動采樣、專業樣氣預處理后，將干凈、干燥、恒定的樣氣送至氣體檢測儀表。具體反應速度更快、抗干rao能力更強、測量更精準、壽命長久等特點；無線HJ 212協議數據上傳，可無縫對接當地環保監測平臺；因其zhuo越性能和良好表現，不僅可以作為企業內的有組織或無組織的氣體排放使用，還可以為環保監測等部門提供數據決策支持。
SK-7500-GAS-JY 氣體在線監測預處理系統適用于常溫（-20℃～+50℃）、高壓、負壓、潮濕、含焦油、含粉塵的監測環境。（根據具體工況而定）
SK-7500-GAS-Y 固定污染源氣體在線監測預處理系統適用于高溫（-20℃～+200℃）、高壓、潮濕、含油、含水、含粉塵的惡劣監測環境。（根據具體工況而定）
二、執行標準
GB3836.1-2010《爆炸性氣體環境用電氣設備 第一部分：通用要求》
GB3836.2-2010《爆炸性氣體環境用電氣設備 第二部分：隔爆型“d" 》
GB 3836.15-2000 《爆炸性氣體環境用電氣設備第 15 部分：危險場所電氣安裝( 煤礦除外) 》
GBT50493-2019 《石油化工可燃氣體和有毒氣體檢測報警設計標準》
GB12358-2006 《作業場所環境氣體檢測報警儀通用技術要求》
GBZ 2.1-2007 《工作場所有害因素職業接觸限值》
GB 4208-2008 《外殼防護等級（IP 代碼）》
GB 16297－1996《大氣污染物綜合排放標準》
GB/T 16157-1996《固定污染源排氣中顆粒物測定與氣態污染物采樣方法》
HJ/T 76-2017《固定污染源排放煙氣連續監測系統技術要求及檢測方法》
三、設計方案
3.1監測參數
在線監測因子：HCL、硫酸霧、氨氣等參數可定制。
3.2監測方法
廢氣采樣方法：泵吸取樣
HCL、硫酸霧、氨氣監測原理：電化學
3.3安裝位置
廢氣與顆粒物采樣點：氨氣凈化塔
分析儀表：戶外站房或雨棚
3.4公用工程條件
廢氣監測設備電源：220VAC，50HZ，200瓦 用于設備供電。4-20MA、RS485等多種信號輸出，既可方便接入 PLC、DCS、DDC 等工控系統，也可以作為單機控制使用；
顆粒物監測設備電源：24VDC
該裝置為機、電、儀一體化成套分析控制裝置。包含取樣探頭、探頭反吹、取樣管線、預處理單元、機柜等部分；系統整體采用分析機柜式結構，成套裝置由分析機柜組件和安裝在工藝管線上的取樣探頭組件構成。（根據具體工況而定）
3.5.1分析機柜組件
分析機柜內包含以下單元：
a.預處理單元
預處理單元由冷凝器、蠕動泵、電磁閥、抽氣泵、減壓閥、精細過濾器、轉子流量計等組成；其功能是完成樣氣的凈化、除塵、穩壓、穩流。最后將符合分析儀要求的干凈、流量穩定的被測樣氣，源源不斷送入分析儀器，從而確保了分析儀器的準確性和長期可靠性。
b.分析單元
分析儀采用電化學法對SO2、NOX進行測量，采用PID光離子法對TVOC進行測量。
c.控制單元
本系統采取自動取樣、自動反吹等工作方式，可以搭配工廠中的風機、閥門、噴淋系統等設備來使用，通過內部開關量信號實現聯動。此外，其監測數據還可以通過專用配套軟件實時接收，并且可以實現多路統一管理以及數量的擴充。存儲的數據還可以任意選取時間段進行查詢，曲線顯示，數據EXCEL導出等，使得監測數據一目了然。
3.5.2氣體污染物采樣器
煙氣氣態污染物采樣器（以下簡稱取樣探頭）
3.5.3不銹鋼氣體污染物檢測儀
名稱 | 不銹鋼氯化氫檢測儀、不銹鋼硫酸霧檢測儀、不銹鋼氨氣檢測儀 |
型號 | SK/MIC-600-HCL-SSY、SK/MIC-600-H2SO4-SSY、SK/MIC-600-NH3-SSY |
檢測原理 | 電化學/PID光離子 |
檢測量程 | HCL：0-100ppm，NH3:0-100ppm，H2SO4:0-20mg/m3 |
線性度 | ±1.5%F.S. |
示值誤差 | ≤±3% |
重復性 | <±1%F.S. |
零點漂移 | <±1%F.S. |
量程漂移 | <±1%F.S. |
工作溫度 | -20～50℃ |
響應時間（T90） | <30秒 |
輸出信號 | ①4-20mA信號：標準的12位精度4-20mA輸出芯片，傳輸距離1000m ②RS485信號：采用標準MODBUS RTU協議，傳輸距離1200m ③電壓信號：0.4-2V,0-5V、0-10V輸出，選配（電壓輸出與電流輸出二選一） ④開關量信號：標配1組無源觸點繼電器，容量220VAC 3A/24VDC 3A ⑤GPRS、4G、WIFI、LORA、ZigBee等無線信號 |
接收設備 | 用戶電腦、控制報警器、PLC、DCS、DDC等 |
防護等級 | IP66 防水濺和短時間雨淋，長時間雨淋需選配防雨罩或選擇不帶顯示的外殼 |
3.6系統控制及數據采集系統
3.6.1系統界面與數據儲存、導出
在線監控系統是本公司自行開發的針對煙氣連續排放連續監控系統。本系統實時監測從分析儀傳輸過來的數據，存儲到數據庫，可選配顯示當前的排放率、排放總量及系統報表顯示與輸出。
可通過485接口采集濃度數據，并實現存儲、匯總、報表輸出、向數采儀發送數據等功能。
對于比較簡單的應用，例如脫硫效率監測，分析儀可以將數據直接通過4-20mA或485發送的PLC/DCS等工控系統。
四、系統配置清單
序號 | 貨品名稱 | 型號規格 | 數量 | 備注 |
1.煙氣在線監測預處理系統 | ||||
1.1 | 抽取式預處理機柜 | 高效過濾器 | 1套 | |
采樣泵 | 1套 | |||
降溫除濕冷凝器 | 1套 | 選配 | ||
轉子流量計 | 1套 | |||
漏電開關 | 1套 | |||
24V電源 | 1套 | |||
蠕動泵 | 1套 | 選配 | ||
散射風扇 | 2套 | 選配 | ||
節流閥 | 2套 | |||
減壓閥 | 1套 | 選配 | ||
7寸觸摸顯示屏 | 1套 | 選配 | ||
標定氣接口 | 1套 | 選配 | ||
反吹電磁閥 | 1套 | 選配 | ||
1.2 | 氣體污染物分析儀 | SK/MIC-600-NY | 1套 | |
1.3 | 軟管 | ￠6 | ||
1.4 | 伴熱管 | \ | 30米 | 選配 |
2.系統控制及數據采集子系統 | ||||
2.1 | 無線傳輸模塊 | \ | 1個 | 選配 |
2.2 | 數采儀 | \ | 1個 | 選配 |
東日瀛能可燃氣體檢測報警器量程參照法規：
關于有毒有害氣體接觸限值與其濃度多少時對人體的危害等相關問題，請咨詢東日瀛能銷售人員。
常用氣體選型表
檢測氣體 | 量程 | 允許 誤差值 | 最小讀數 | 響應時間T90 |
可 燃氣(E X) | 0-100%LEL | ＜±3%(F.S) | 0.1%LEL | ≤10秒 |
可 燃氣(E X) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.1%Vol | ≤10秒 |
甲 烷(C H4) | 0-100%LEL | ＜±3%(F.S) | 0.1%LEL | ≤10秒 |
甲 烷(C H4) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.1%Vol | ≤10秒 |
氧 氣(O 2) | 0-30%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤10秒 |
氧 氣(O 2) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤10秒 |
氧 氣(O 2) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
氮 氣(N 2) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤10秒 |
一氧 化碳(C O) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤25秒 |
一氧 化碳(C O) | 0-1000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤25秒 |
一氧 化碳(C O) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤25秒 |
一氧 化碳(C O) | 0-20000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤25秒 |
一氧 化碳(C O) | 0-100000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤25秒 |
二氧 化碳(C O 2) | 0-500ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤20秒 |
二氧 化碳(C O 2) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤20秒 |
二氧 化碳(C O 2) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤20秒 |
二氧 化碳(C O 2) | 0-50000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
二氧 化碳(C O 2) | 0-20%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤30秒 |
二氧 化碳(C O 2) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤30秒 |
甲 醛(CH 2O) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
甲 醛(CH 2O) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
甲 醛(CH 2O) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
甲 醛(CH 2O) | 0-1000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤45秒 |
臭 氧(O 3) | 0-1ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤20秒 |
臭 氧(O 3) | 0-5ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤20秒 |
臭 氧(O 3) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤20秒 |
臭 氧(O 3) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤20秒 |
臭 氧(O 3) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
臭 氧(O 3) | 0-30000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
臭 氧(O 3) | 0-20mg/L | ＜±3%(F.S) | 0.01mg/L | ≤30秒 |
臭 氧水(O 3) | 0-20mg/L | ＜±3%(F.S) | 0.01mg/L | ≤30秒 |
硫化 氫(H 2S) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
硫化 氫(H 2S) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
硫化 氫(H 2S) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
硫化 氫(H 2S) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
硫化 氫(H 2S) | 0-10000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤45秒 |
二氧 化硫(SO 2) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
二氧 化硫(SO 2) | 0-20ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
二氧 化硫(SO 2) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
二氧 化硫(SO 2) | 0-500ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
二氧 化硫(SO 2) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
二氧 化硫(SO 2) | 0-10000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
一氧 化氮(N O) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
一氧 化氮(N O) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
一氧 化氮(N O) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
一氧 化氮(N O) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
二氧 化氮(N O 2) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤25秒 |
二氧 化氮(N O 2) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤25秒 |
二氧 化氮(N O 2) | 0-1000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
二氧 化氮(N O 2) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
二氧 化氮(N O 2) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
氮氧 化物(N OX) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
氮氧 化物(N OX) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
氮氧 化物(N OX) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
氯 氣(CL 2) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
氯 氣(CL 2) | 0-20ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
氯 氣(CL 2) | 0-200ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
氯 氣(CL 2) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
氨 氣(N H3) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
氨 氣(N H3) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
氨 氣(N H3) | 0-1000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
氨 氣(N H3) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
氨 氣(N H3) | 0-100%LEL | ＜±3%(F.S) | 0.1%LEL | ≤10秒 |
氫 氣(H 2) | 0-100%LEL | ＜±3%(F.S) | 0.1%LEL | ≤10秒 |
氫 氣(H 2) | 0-1000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
氫 氣(H 2) | 0-20000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
氫 氣(H 2) | 0-40000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
氫 氣(H 2) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤20秒 |
氦 氣(H e) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤20秒 |
氬 氣(A r) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤20秒 |
氙 氣(X e) | 0-100%Vol | ＜±3%(F.S) | 0.01%Vol | ≤20秒 |
氰化 氫(H CN) | 0-30ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
氰化 氫(H CN) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
氯化 氫(H CL) | 0-20ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
氯化 氫(H CL) | 0-200ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
磷化 氫(P H3) | 0-5 ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
磷化 氫(P H3) | 0-25 ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
磷化 氫(P H3) | 0-2000 ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
二氧 化氯(CLO 2) | 0-1ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
二氧 化氯(CLO 2) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
二氧 化氯(CLO 2) | 0-200ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
環氧 乙烷(ET O) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
環氧 乙烷(ET O) | 0-1000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
環氧 乙烷(ET O) | 0-100%LEL | ＜±3%(F.S) | 1%LEL | ≤30秒 |
光 氣(C OCL 2) | 0-1ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤20秒 |
光 氣(C OCL 2) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤20秒 |
硅 烷(Si H4) | 0-1ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
硅 烷(Si H4) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
氟 氣(F 2) | 0-1ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
氟 氣(F 2) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
氟 氣(F 2) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
氟化 氫(H F) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
氟化 氫(H F) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
溴化 氫(HB r) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
(B2 H6) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
砷化 氫(As H3) | 0-1ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
砷化 氫(As H3) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
砷化 氫(As H3) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
鍺 烷(Ge H4) | 0-2ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
鍺 烷(Ge H4) | 0-20ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
聯 氨(N 2 H4) | 0-1ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
聯 氨(N 2 H4) | 0-300ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
四氫 噻吩(TH T) | 0-100mg/m3 | ＜±3%(F.S) | 0.01 mg/m3 | ≤60秒 |
溴 氣(B r2) | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.001ppm | ≤30秒 |
溴 氣(B r2) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
溴 氣(B r2) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
乙 炔(C2H 2) | 0-100%LEL | ＜±3%(F.S) | 0.1%LEL | ≤30秒 |
乙 炔(C2H 2) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
乙 炔(C2H 2) | 0-1000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
乙 烯(C2 H4) | 0-100%LEL | ＜±3%(F.S) | 0.1%LEL | ≤30秒 |
乙 烯(C2 H4) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
乙 烯(C2 H4) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
乙 醛（C2 H4O） | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
乙 醇(C2 H6O) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
乙 醇(C2 H6O) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
甲 醇(C H6O) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
甲 醇(C H6O) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
二硫 化碳(C S2) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
二硫 化碳(C S2) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
丙烯 腈(C3 H3N) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
丙烯 腈(C3 H3N) | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
甲 胺(C H5N) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
典 氣(I 2) | 0-50ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
苯乙 烯(C8 H8) | 0-200ppm | ＜±3%(F.S) | 0.1ppm | ≤30秒 |
苯乙 烯(C8 H8) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
氯乙 烯(C2H3 CL) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
三氯 乙烯(C2H CL3) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
四氯 乙烯(C2 CL4) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
笑 氣(N 2O) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
三氟 化氮(N F3) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
過氧 化氫(H 2O 2) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
硫酰 氟(SO 2F 2) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
硫酰 氟(SO 2F 2) | 0-30000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
硫酰 氟(SO 2F 2) | 0-200g/m3 | ＜±3%(F.S) | 0.1g/m3 | ≤30秒 |
硫酰 氟(SO 2F 2) | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
硫酰 氟(SO 2F 2) | 0-5000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
硫酰 氟(SO 2F 2) | 0-10000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
C6 H6 | 0-10ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
C6 H6 | 0-100ppm | ＜±3%(F.S) | 0.01ppm | ≤30秒 |
C6 H6 | 0-2000ppm | ＜±3%(F.S) | 1ppm | ≤30秒 |
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