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愛氪森科技PH3 磷化氫氣體傳感器介紹

2024-01-26 10:33:25來源:德國EC Sense 關鍵詞:愛氪森科技氣體傳感器環境監測閱讀量:22925

導讀:PH3磷化氫是半導體行業中常用的氣體之一,可用于制造磷化氫化學氣相沉積(CVD)過程中,因此PH3磷化氫氣體傳感器在半導體制造業中廣泛應用。
  愛氪森科技PH3 磷化氫氣體傳傳感器采用三電極設計,可以連續進行氣體濃度測量,傳感器主要由三電極系統 (工作電極, 對電極, 參比電極)、固態電解質組成,并在恒電位下工作,被氣體通過擴散孔到達傳感器的工作電極,在電極的多孔微觀表面發生電化學氧化或還原反應,反應的質子通過聚合物電解質遷移到對電極,電流信號大小與被測氣體濃度成正比。由第一菲克定律表示:i = nFDC
 
  因此,流過的電流與目標氣體的濃度成正比,參比電極與恒電位儀保持電位恒定。
 

       優點與特性
 
  ???
 
  · 靈敏度高
 
  0-20ppm量程范圍,分辨率可達到0.01ppm,長期使用穩定性很好,可在持續PH3氣體的熏蒸環境中長時間使用;
 
  · 抗中毒
 
  對高濃度氣體沖擊無中毒現象,一定時間內可自行恢復;
 
  · 耐高濕無漏液
 
  可在高濕環境下長期工作,無漏液現象,傳感器性能保持穩定;
 
  · 壽命更長
 
  采用非消耗型固態電解質技術,工業環境下長期使用靈敏度衰減小;
 
  · 微小尺寸
 
  可實現多參數集成設備應用,便攜可穿戴設備集成;
 
  · 智能算法補償
 
  通過對環境中的溫濕度變化數據采集,對傳感器進行有效的算法自動補償,確保精準檢測;
 
  ·溫度范圍
 
  可在-40°C~55°C環境下正常工作;
 
  ·線性度高
 
  全量程線性測量,滿足高精度< ±5%FS
 
  輸出信號多樣化
 
  ???
 
  ·TTL UART Modbus RTU,I2C, SPI;
 
  · 4-20mA, RS485, Wifi, LoRa, 4G;
 

       應用領域
 
  ???
 
  實現高精度的PH3磷化氫氣體濃度檢測,及時發現可能存在的泄漏和安全隱患,并采取相應的措施,確保工作環境的安全和人員的健康。因此,PH3磷化氫氣體傳感器對于保護人員的安全和減少環境污染具有重要意義。以下是主要典型的一些行業應用:
 
  ? 半導體行業 ?
 
  PH3磷化氫是半導體行業中常用的氣體之一,可用于制造磷化氫化學氣相沉積(CVD)過程中,因此PH3磷化氫氣體傳感器在半導體制造業中廣泛應用。
 
  ? 糧食儲藏 ?
 
  磷化氫還是糧食儲藏過程熏蒸殺蟲,殺菌,防止糧食長期存放腐敗變質。
 
  ? 農業生產 ?
 
  PH3磷化氫可作為農業殺蟲劑,因此在農業行業中使用PH3磷化氫氣體傳感器可檢測到可能存在的磷化氫泄漏情況,保證工作環境的安全。
 
  ? 石油化工 ?
 
  PH3磷化氫可以在一些煉油過程中作為脫硫劑使用,因此在石油化工行業中也需要使用PH3磷化氫氣體傳感器來檢測磷化氫的存在和濃度。
 
  ? 實驗室 ?
 
  PH3磷化氫氣體傳感器可以用于實驗室環境中,檢測PH3磷化氫的存在,確保實驗室中的安全。
 
  EC Sense的氣體傳感器在各大行業及領域均得到了廣泛應用,尤其在工業監測領域,可實現PPB級檢測分辨率,抗干擾強,穩定可靠,測量精度得到大大提升,用戶認可度高,尤其在工業安全領域中便攜式檢測儀、固定式工業探測報警器、氧氣分析儀、在線式監測系統集成等。
 
  原標題:PH3 磷化氫氣體傳感器(愛氪森科技)
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