二級超純水系統《分析實驗室用水規格和實驗方法》： 　　

    二級超純水系統指標名稱 一級水 二級水 三級水 　　
    1級水>10MΩ；2級水>1MΩ；3級水>0.2MΩ 　　
    PH值范圍（25℃） - - - - 5.0-7.5 　　
    比電阻MΩ.cm@25℃> 10 1 0.2 　　
    電導率（25℃）us/cm≤ 0.1 1 5 　　
    可氧化物[以O計]mg/L -- 0.08 0.40 　　
    吸光度（254nm,1cm光程）≤ 0.001 0.01 -- 　　
    二氧化硅（mg/L） 0.02 0.05 -- 　　
    蒸發殘渣（mg/L） -- 1.0 2.0

主要工藝流程 　　
        1.預處理----復床 ----混床---拋光樹脂 　　
        2.預處理----反滲透---混床---拋光樹脂 　　
        3.預處理----反滲透----CEDI膜塊----拋光樹脂