日本yako-sangyo  半導體氣體擴散器SUS316L

氣體擴散器是主要防止負載鎖定室向大氣開放時晶圓等受到污染、縮短排氣循環時間、提高系統吞吐量的擴散器。

 ?元件部分SUS316L

 ?也可用于高溫應用。

 ?尺寸緊湊，可靠性高，可承受沖擊和振動。

氣體擴散器概述

1.流量范圍廣，從 6 到 300 SLPM。

2.與高純度半導體氣體兼容。

3.3 納米顆粒過濾功能可保持高流動效率，同時最大限度地減少壓降。

4.5Ra 電解拋光表面可防止內部污染。

5.為了滿足半導體工藝標準，我們在用去離子水清洗后用高溫氮氣進行烘烤。

日本yako-sangyo  半導體氣體擴散器SUS316L

氣體擴散器是主要防止負載鎖定室向大氣開放時晶圓等受到污染、縮短排氣循環時間、提高系統吞吐量的擴散器。

 ?元件部分SUS316L

 ?也可用于高溫應用。

 ?尺寸緊湊，可靠性高，可承受沖擊和振動。

氣體擴散器概述

1.流量范圍廣，從 6 到 300 SLPM。

2.與高純度半導體氣體兼容。

3.3 納米顆粒過濾功能可保持高流動效率，同時最大限度地減少壓降。

4.5Ra 電解拋光表面可防止內部污染。

5.為了滿足半導體工藝標準，我們在用去離子水清洗后用高溫氮氣進行烘烤。