3軸圓柱坐標潔凈晶圓搬運機械手臂特點： |
超潔凈無塵間用300mm晶圓對應MCR3000C系列 |
適用于半導體生產設備內部，檢測設備等的晶圓搬運 |
全軸采用AC伺服電機滿足高速搬送的需求 |
比MHR系列具有更好的性價比優勢 |
機械手臂標準臂長:160mm, 200mm |
適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式 |
配備動作監視器 |
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式 |
全軸采用值編碼器規格的AC伺服電機 |
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓 |
晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式 |
手指材質：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質 |
可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供的手指 |
3軸圓柱坐標潔凈晶圓搬運機械手臂基本參數： |
使用環境 | 潔凈間內的大氣環境 |
手臂 | 單臂 |
到達距離 | 400mm (手臂第3關節中心到達距離) |
升降軸行程 | 300mm / 400mm / 500mm |
可搬運質量 | 4kg (手臂第3關節處基準) |
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