MFC-UT系列質量流量控制器(Mass Flow Controller)是基于業內流量傳感器芯片,結合高速采樣處理技術和數字補償算法,所開發的一款緊湊的氣體質量流量控制器產品。該產品配備有電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片等,對比傳統的氣體流量控制器,本產品采用集成化設計,使得該產品的體積大幅度縮小到傳統產品的1/4,可以在小體積、便攜式設備中發揮更大優勢。
產品應用于:半導體加工、分析儀器、燃燒控制器、真空技術、表面處理、食品和制藥、化工(石化)等過程控制、氣體混合配比
產品特點:
溫度和壓力不敏感
設計勁湊,可安裝任意位置
的零點穩定性
超快的響應速度
良好的重復性和再現性
采用液晶觸控顯示和控制
配備比例電磁閥