目前有用VOCs廢氣處理設備技術包含有：濃度好處理技術（吸收、吸附、催化燃燒）；低濃度處理技術（低溫等離子、光氧催化法、臭氧催化氧化）。但是由于光氧催化法以及臭氧催化氧化的處理方法效果并不理想，已經開始慢慢淡出廢氣處理市場。

活性炭+催化燃燒設備

VOCs廢氣處理設備吸收法：

工業生產中多采用物理吸收法，就是將廢氣引入吸收液中進行吸收凈化，吸收液飽和后進行加熱、解析、冷凝等處理，回收余熱。在濃度低、溫度低、風量大的情況下可踩踏吸收法，但需要配備加熱解析回收裝置，投資額大。涉及油漆涂裝作業企業常用的油簾、水簾吸收漆霧的方法，即常見的有用廢氣吸收法。

吸附法：吸附法又可分成三種：

（1）直接吸附法，利用活性炭對有用廢氣進行吸附凈化處理，凈化率可達95 %以上，該方法設備簡單、投資少，但需要經常更換活性炭，頻繁的裝卸、更換等程序增加運行費用。

（2）吸附-回收法。利用纖維活性炭吸附有用廢氣，使其在趨近飽和狀態下過熱蒸汽反吹，實現脫附生產。

（3）新型吸附-催化燃燒法。該方法綜合吸附法與催化燃燒方法的優點，具有運行穩定、投資少、運行成本少、維修簡單等優點。其利用新型吸附材料對有用廢氣進行吸附處理，使其在接近飽和狀態下在熱空氣的作用下吸附、解析、脫附，接著再將廢氣引入催化燃燒床進行無焰燃燒處理，實現廢氣的效果優良凈化處理。該方法適用于濃度低、風力大的廢氣凈化處理中，是當前國內應用較多的一種廢氣凈化處理辦法。

VOCs廢氣處理設備催化燃燒法：

催化然后就是將廢氣加熱經催化燃燒后轉變成性能穩定的二氧化碳和水。該方法適用于溫度高、濃度好的有用廢氣凈化處理中，其具有燃燒溫度低、節能、凈化率好、占地面積少等優點，但投資較大。

低溫等離子凈化法：低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。 放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。但目前能成熟的掌握該技術的單位非常少，大部分宣傳采用低溫等離子技術處理廢氣的宣傳都不是完整意義上的低溫等離子廢氣處理技術。