- 載樣速度快
- 吹掃速度快
- 氮氣消耗少
- 測試速度快
- 兩種操作模式可選:氮氣保護或抽真空
UVISEL 2 VUV專為VUV 測量設計,整個系統處于真空狀態,無氧氣吸收。具備高準確性;超快測量速度;快速樣品室抽真空能力,方便快速更換樣品;氮氣消耗量少。光譜范圍可覆蓋147-2100nm。
UVISEL 2 VUV能夠在充氮氣或抽真空模型下工作。整個機械設計經過優化,氮氣消耗量低至6L/min,載樣速度快,2分鐘內即可完成。真空樣品倉門朝向操作人員更便于樣品裝載。
UVISEL 2 VUV在VUV波段具有高靈敏度,它集成了大功率雙光源、高通量光學系統以及CaF2光彈調制晶體和兩個時髦的單色儀。從147nm到850nm,樣品測量時間少于8分鐘,具有良好的信噪比。
UVISEL 2 VUV通過顯著減少氮氣消耗量、吹掃及測試時間,改變了VUV橢偏儀的世界。
DeltaPsi2軟件提供了從測試到建模分析,輸出報告,以及自動操作的全部功能控制,用戶界面直觀、友好,非常適用于科研及工業客戶使用。
UVISEL 2 VUV測試速度快、運行成本低,使其成為分析147nm到2100nm波段薄膜的理想工具。UVISEL 2 VUV橢偏儀可以定制化和自動化。
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