UNIPOL-1203化學機械磨拋機,適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術, 整機研磨部分采用防腐材料,耐化學腐蝕,配置自動滴料器和精密磨拋控制儀,全自動觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面型加工的需求。
產品名稱 | UNIPOL-1203化學機械磨拋機 | |||||
安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:設備配有上水口及下水口,需自行連接自來水及下排水 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:無 4、工作臺:尺寸800mm×600mm×700mm,承重200kg以上 5、通風裝置:不需要 | |||||
主要特點 | 1、超平不銹鋼拋光盤(平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm)。 2、超精旋轉軸(托盤端跳小于0.01mm)。 3、設有兩個加工工位,可分別進行控制。 4、配有全自動控制觸摸屏面板,可設置主軸轉速、擺臂速度、磨拋時間。 5、配置自動滴料器,流量速率可視化調整,自動研磨和拋光。 6、配置GPC-100A精密磨拋控制儀,可調節壓力,修整面型,使磨拋更加方便快捷。 7、研磨部分采用防腐材料,耐化學腐蝕。 | |||||
技術參數 | 主機部分 | GPC-100A精密磨拋控制儀 | 自動滴料器 | |||
1、電源:110V/220V 2、功率:400W 3、磨拋盤轉速:10-240rpm 4、磨拋工位:2個 5、擺臂調節檔位:1-15檔 6、托盤端跳:0.008/250mm 7、磨拋盤:Ø300mm 8、修盤環:Ø127.5mm
| 1、載樣盤直徑:Ø103mm 2、載樣盤軸向行程:12mm 3、數顯表精度:0.001mm 4、載樣盤可調加載壓力:0.1kg-2.1kg 5、壓力確認儀有效量程:1g-5000g 6、樣品裝卡方式:真空吸附 7、承載樣件尺寸: 直徑≤103mm、 厚度≤12mm 8、尺寸:外徑146mm,高266mm
| SKZD-2滾筒滴料器 1、容積:1.5L 2、流量:0-35ml/min 3、尺寸:170×290×350mm; 重量:3kg SKZD-4自動滴料器 1、加液泵:4個 2、料液瓶:600ml/瓶 3、計時范圍:1-999min 4、流量:0.1ml/min-10ml/min 5、尺寸:230×370×450mm; 重量:10kg | ||||
產品規格 | 1、整套尺寸:950mm×690mm×580mm; 2、重量:90kg | |||||
標準配件 | 1 | 不銹鋼拋光盤 | 1個 | |||
2 | 載物盤 | 1個 | ||||
3 | 修盤環 | 1個 | ||||
4 | SKZD-2滴料器 | 1個 | ||||
5 | SKZD-4自動滴料器 | 1個 | ||||
6 | GPC-100A精密磨拋控制儀 | 1個 | ||||
7 | 拋光墊 (磨砂革、合成革、聚氨酯) | 各1片 | ||||
8 | 剛玉研磨微粉 | 0.5kg | ||||
9 | 石蠟棒 | 4根 | ||||
可選配件 | 1、YJXZ-12攪拌循環泵 2、精密測厚儀 3、陶瓷研磨盤 4、玻璃研磨盤 5、磁性樹脂金剛石研磨片 |