日本lintec小型燃?xì)饧訜崞?HX-0020
緊湊型緊湊型氣體加熱,最高加熱溫度為200°C。
特點(diǎn)
設(shè)計(jì)緊湊,面之間 160 mm ×寬 55 mm
加熱 N2 氣體 10SLM 至 200°C
能夠加熱不腐蝕氣體接觸材料的氣體(SUS316L)
也可在真空和加壓下使用
使用示例
原子層沉積和 CVD 設(shè)備熱吹掃
液化氣體通常用于ALD和CVD等真空沉積,但用室溫氣體吹掃會(huì)使溫度冷卻并冷凝,相反,吹掃可能不足。 這就是熱吹掃的用武之地。 緊湊型氣體加熱器 (HX-0020) 的占地面積與 MFC 沒有太大區(qū)別,可以加熱到 200°C,使氣體加熱接近使用點(diǎn),使其成為 ALD 和 CVD 等真空沉積設(shè)備熱吹掃的理想選擇。
日本lintec小型燃?xì)饧訜崞?HX-0020
規(guī)格
流量(N2當(dāng)量) | 壓降 (N2) | 耐壓 (G) | 工作溫度 | 氣體接觸部件材料 | |
規(guī)范 | 10SLM | 14kPa | 1兆帕 | 200°C | 不銹鋼316L |
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