質量流量控制器（MFC）用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。
CS300系列產品特點：
1. 與氣體接觸的零件表面經過電化學拋光處理，粗糙度達到Ra 5μinch。
2. 與氣體接觸的零件表面化學成分：Cr/Fe比例≥2.0；CrO 厚度≥20 （埃）。
3. 具有壓力補償功能。
4. 支持1.125,1.5英寸W，C，B型IGS氣路系統
類號 | CS310C | CS320C | ||
閥類型 | Normally Closed or Normally Open | No Valve | Normally Closed or Normally Open | No Valve |
流量規格(N2) | (0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM | |||
準確度 | ±1% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S. (＜35% F.S.) | ±0.80% S.P. (≥30% F.S.) ±0.24% F.S. (＜30% F.S.) | ||
線性 | ±0.5% F.S. | |||
重復精度 | ±0.2% F.S. | |||
響應時間 | ≤ 0.8sec （≤ 0.5sec optional） | |||
工作壓差范圍 | (0.05～0.35)Mpa(≤10SLM) (0.1～0.35)MPa (＞10SLM) | ＜0.02 MPa | (0.05～0.35)Mpa(≤10SLM) (0.1～0.35)MPa (＞10SLM) | ＜0.02 MPa |
溫度系數 | Zero: ≤±0.02% F.S./℃； Span: ≤±0.05% F.S./℃ | |||
耐壓 | 3MPa | |||
漏率 | 1×10-11 Pa·m3 / sec He | |||
密封材料 | Metal | |||
工作環境溫度 | （0～50）℃ | |||
輸入信號 | Digital:RS485 Or DeviceNet Analog:(0～5)VDC | No | Digital:RS485 Or DeviceNet Analog:(0～5)VDC | No |
輸出信號 | Digital:RS485 Or DeviceNet Analog:(0～5)VDC | |||
零漂 | ＜0.6%F.S. per year without autozero | |||
電源 | ±11～±16 VDC (雙極) 或 +11～+28 VDC (單極) | |||
表面化學成分 | Cr/Fe ratio >2.0; CrO thickness >20 Angstroms | |||
表面粗糙度 | Ra 5μinch | |||
標準接頭形式 | VCR1/4陽接頭； 1.125″C型密封接頭 1.125″W型密封接頭 | 1.5″B型密封接頭 1.5″C型密封接頭 1.5″W型密封接頭 | ||
電源接頭形式 | D sub 9 pins male，D sub 15 pins male，DeviceNet male | |||
重量 | 1 Kg | 0.8Kg | 1.2Kg | 1Kg |
