利用活性炭的比表面積大、吸附容量大的特性吸附處理中低濃度有機廢氣是一種極其有效的處理手段，有機廢氣中的污染物質被吸附在活性炭內部，潔凈氣體被排出，從而起到凈化作用。
有機廢氣凈化裝置采用活性炭吸附、熱氣流脫附和催化燃燒三種組合工藝凈化有機廢氣，分三個工作過程進行：
，工作過程利用活性炭多微孔及巨大的表面張力、吸附容量大等特性將廢氣中的有機溶劑吸附在其內部，可使有機廢氣凈化效率高達95%以上，使所排廢氣得到凈化。
第二，工作過程由于活性炭的吸附容量有限，經一段時間吸附后，活性炭達到飽和狀態時，停止吸附，此時有機物已經被濃縮在活性炭內。活性炭吸附飽和后，按一定濃縮比把吸附在活性炭上的有機溶劑用熱氣流脫出并送往催化燃燒床。
第三，工作過程進入催化燃燒床的高濃度有機廢氣經過進一步加熱后，在催化劑的作用下氧氣分解，轉化成二氧化碳和水，分解釋放出的熱量經高效換熱器回收后用于加熱進入催化燃燒床的高濃度有機廢氣。活性炭吸附脫附催化燃燒工藝流程，有機廢氣先通過干式過濾，將廢氣中顆粒狀污染物截留去除，然后進入吸附床進行吸附，利用具有大比表面積的蜂窩狀活性炭將有機溶劑吸附在活性炭表面經處理后。
