nXDS20iC 100 - 127 V,200 - 240 V,1 相,50 - 60 Hz
A
工作環境更好,環境影響低:
安靜運轉操作簡單:
智能且易于使用控制無污染且不需要處理油:
采用密封結構,實現了無潤滑劑真空環境低擁有 成本:
長維修間隔和低功耗更快的制程:
出色的蒸汽處理能力真空外殼中 不需要使用潤滑劑,密封可保證的清潔和干燥真空, 防止交叉污染
無大氣壓到 真空的軸封可使軸承隔離,從而阻止制程攻擊,軸承也能 以更低溫度運行,使用時間更長
簡單的單側 滾軸布置與創新的電機和軸承設計相結合,只需Z低程度的 特殊工具,就能實現輕松的現場服務,因此可降低運行成本, 盡可能延長正常運行時間
改進了電機和 傳動效率,可降低功耗和運行成本
*的接口 提供了各種傳統、模擬和數字控制方法,可通過 USB、RS232 或 RS485 實現 遠程控制/監視
一般清潔泵送
電子掃描顯微鏡 (SEM)
射束線和高能物理
前級渦輪泵
超高速離心機
概述
應用
一般清潔泵送應用
電子掃描顯微鏡 - SEM
射束線和高能物理
前級渦輪泵
超高速離心機
覆層
低溫學
脫氣/硫化 - 油,環氧樹脂
蒸餾/萃取/過濾
冷凍干燥
熔爐
凝膠體干燥
實驗室工作臺上真空
激光、氣體回收和再循環
氦檢漏儀
負載鎖和傳輸腔
稀有氣體再循環
稀有氣體回收
冷凍制造
研發
旋轉離心蒸發器
SEM/FIB(離子束維修)
溶劑回收
表面科學儀器
nXDS20iC 100 - 127 V,200 - 240 V,1 相,50 - 60 Hz
A
特性與優勢
真空外殼中不需要使用潤滑劑,密封可保證的清潔和干燥真空,防止交叉污染
無大氣壓到真空的軸封可使軸承隔離,從而阻止制程攻擊,軸承也能以更低溫度運行,使用時間更長
無需更換潤滑油,也就消除了處置被污染的潤滑油所需的費用
簡單的單側滾軸設計意味著例行維護工作可在數分鐘內完成,降低運行成本,盡可能延長正常運行時間
用于實現蒸汽泵送的氣鎮功能