一、設備名稱、型號、原產地、交貨期
1.1 設備名稱：真空等離子清洗機
1.2 型號：VPC42
1.3 原產地(國別、廠家)：北京中科中科同志股份有限公司
1.4 交貨期：合同生效后4-8周
1.5 主要用于硅晶圓、玻璃基板、陶瓷基板、IC載板、銅引線框架、大尺寸單面基板電源板、IGBT模塊、帶治具的MEMS傳感器、微波器件、濾波器、射頻器件等半導體封裝領域的等離子表面處理工藝。
二、設備主要技術性能指標：
2.1 真空腔體體積：42L
2.2 真空度：VPC42真空等離子清洗機真空度小于2 Pa（機械干泵 40L/Min）
2.3 有效清洗面積：
單個承片臺面積：350*350mm
15層：間隔15mm:40KHZ 2KW 中頻（表面處理）
5層：間隔50mm，13.56HZ 300W 射頻（體積處理，帶水冷）
2.4 真空腔室高度：
爐膛高度350mm（有效尺寸）
2.5 清洗溫度：
低溫清洗（低于室溫）。
2.6 清洗節拍:30-120S
2.7 清洗效果:達因值可達到70.水滴角15度，可控制到10以內（百級無塵4小時以內）
2.8 氣體環境：
氬氣、氮氣、氧氣、氮氫混合氣體、氫氣、四氟化碳都支持。
2.9 VPC42真空等離子清洗機配置軟件控制系統：
軟件控制系統，操作簡單，能接控制設備及設定各種清洗工藝曲線，并根據工藝不同進行設定、修改、存儲、調用；軟件自帶分析功能，能對工藝曲線進行分析。軟件控制系統自動的實時記錄清洗工藝參數及溫度曲線、時間、報警相關數據，保證產品清洗工藝的可追溯性。
2.10 設備無需校正，不會產生多余的校證費用
2.11 操作功耗：2.5KW，不含冷水機功耗(中頻)； 1.5KW，不含冷水機功耗(射頻)
2.12 具有超溫報警及記錄功能。（標配）
VPC42型真空等離子清洗機具有清洗過程工件表面超溫保護及報警功能、整機溫度安全保護功能及記錄功能。
2.13 具有氮氣、氬氣等流量管理及分析系統（軟件+硬件）。（選配）
VPC42型真空等離子清洗機具有整機消耗氮氣、氬氣等工藝氣體的實時管理及分析功能，可以實時分析氣體使用量、日使用量、周使用量、時間段使用量等記錄和分析功能。
2.14 具有工藝氣體壓力報警功能和分析系統（軟件+硬件）。（選配）
VPC42型真空等離子清洗機具有整機生產過程中工藝氣體氣源欠壓報警及記錄和分析功能，對產品質量追溯超有用。
2.15 具有能源管理及分析系統（軟件+硬件）。（選配）
VPC42型真空等離子清洗機具有能源消耗實時管理及分析功能，可以分析實時耗電量、日耗電量、周耗電量、時間段耗電量等記錄和分析功能。
2.16 具有產量統計管理及分析系統（軟件+硬件）。（選配）
VPC42型真空等離子清洗機具有整機真空處理產品產量實時管理及分析功能，可以實時班產量、日產量、周產量、月產量登并記錄和分析，用于產品質量追溯和分析。
2.17 具有MES數據接口子系統（軟件+硬件）。（選配）
VPC42型真空等離子清洗機具有整機MES數據接口功能，可以選配并配置MES系統，完成智能設備的各種數據采集及分析。
2.18 設備外形尺寸：
850*960*1680mm（不包括警燈）
2.19 設備內部結構：見下圖
三、設備基本構成和配置：
四、VPC42技術參數表
1.1 設備名稱：真空等離子清洗機
1.2 型號：VPC42
1.3 原產地(國別、廠家)：北京中科中科同志股份有限公司
1.4 交貨期：合同生效后4-8周
1.5 主要用于硅晶圓、玻璃基板、陶瓷基板、IC載板、銅引線框架、大尺寸單面基板電源板、IGBT模塊、帶治具的MEMS傳感器、微波器件、濾波器、射頻器件等半導體封裝領域的等離子表面處理工藝。
二、設備主要技術性能指標：
2.1 真空腔體體積：42L
2.2 真空度：VPC42真空等離子清洗機真空度小于2 Pa（機械干泵 40L/Min）
2.3 有效清洗面積：
單個承片臺面積：350*350mm
15層：間隔15mm:40KHZ 2KW 中頻（表面處理）
5層：間隔50mm，13.56HZ 300W 射頻（體積處理，帶水冷）
2.4 真空腔室高度：
爐膛高度350mm（有效尺寸）
2.5 清洗溫度：
低溫清洗（低于室溫）。
2.6 清洗節拍:30-120S
2.7 清洗效果:達因值可達到70.水滴角15度，可控制到10以內（百級無塵4小時以內）
2.8 氣體環境：
氬氣、氮氣、氧氣、氮氫混合氣體、氫氣、四氟化碳都支持。
2.9 VPC42真空等離子清洗機配置軟件控制系統：
軟件控制系統，操作簡單，能接控制設備及設定各種清洗工藝曲線，并根據工藝不同進行設定、修改、存儲、調用；軟件自帶分析功能，能對工藝曲線進行分析。軟件控制系統自動的實時記錄清洗工藝參數及溫度曲線、時間、報警相關數據，保證產品清洗工藝的可追溯性。
2.10 設備無需校正，不會產生多余的校證費用
2.11 操作功耗：2.5KW，不含冷水機功耗(中頻)； 1.5KW，不含冷水機功耗(射頻)
2.12 具有超溫報警及記錄功能。（標配）
VPC42型真空等離子清洗機具有清洗過程工件表面超溫保護及報警功能、整機溫度安全保護功能及記錄功能。
2.13 具有氮氣、氬氣等流量管理及分析系統（軟件+硬件）。（選配）
VPC42型真空等離子清洗機具有整機消耗氮氣、氬氣等工藝氣體的實時管理及分析功能，可以實時分析氣體使用量、日使用量、周使用量、時間段使用量等記錄和分析功能。
2.14 具有工藝氣體壓力報警功能和分析系統（軟件+硬件）。（選配）
VPC42型真空等離子清洗機具有整機生產過程中工藝氣體氣源欠壓報警及記錄和分析功能，對產品質量追溯超有用。
2.15 具有能源管理及分析系統（軟件+硬件）。（選配）
VPC42型真空等離子清洗機具有能源消耗實時管理及分析功能，可以分析實時耗電量、日耗電量、周耗電量、時間段耗電量等記錄和分析功能。
2.16 具有產量統計管理及分析系統（軟件+硬件）。（選配）
VPC42型真空等離子清洗機具有整機真空處理產品產量實時管理及分析功能，可以實時班產量、日產量、周產量、月產量登并記錄和分析，用于產品質量追溯和分析。
2.17 具有MES數據接口子系統（軟件+硬件）。（選配）
VPC42型真空等離子清洗機具有整機MES數據接口功能，可以選配并配置MES系統，完成智能設備的各種數據采集及分析。
2.18 設備外形尺寸：
850*960*1680mm（不包括警燈）
2.19 設備內部結構：見下圖
三、設備基本構成和配置：
| 編號 | 名稱 | 配置 | 數量 |
| 1 | 真空等離子清洗機 | 主機 | 1臺 |
| 2 | 等離子體電源系統 | 標配 | 1套 |
| 3 | 測溫系統 | 標配（2組測溫熱電偶,一用一備） | 1套 |
| 4 | 真空系統 | 標配 | 1套 |
| 5 | 機械泵 | 標配 | 1套 |
| 6 | 水冷系統 | 標配（不含工業水冷機） | 1套 |
| 7 | 工業冷水機 | 選配 | 1套 |
| 8 | 工藝氣體系統 | 標配(工藝氣路管道及接口） | 1套 |
| 9 | 氮氣氣氛保護系統 | 標配（不包括氮氣氣源供應） | 1套 |
| 10 | 真空等離子清洗機軟件系統 | 標配(控制軟件) | 1套 |
| 11 | 工業計算機 | 標配 | 1套 |
| 12 | 等離子體 | 標配 | 1支 |
| 13 | 測溫傳感器（備件） | 標配 | 2根 |
| 14 | 冷卻氣管（備件） | 標配 | 2根 |
| 15 | 工藝氣體流量管理及分析系統 | 選配 | 1套 |
| 16 | 工藝氣體壓力報警功能和分析系統 | 選配 | 1套 |
| 17 | 能源管理及分析系統 | 選配 | 1套 |
| 18 | 氧含量管理及分析系統 | 選配 | 1套 |
| 19 | MES數據接口系統 | 選配 |
四、VPC42技術參數表
| 品 牌 | 設備廠商 | 北京中科中科同志股份有限公司 TORCH | 備注 |
| 簡 介 | 產 地 | 北 京 | |
| 關鍵配件 | 溫度傳感器 | 美國歐米伽 | |
| 真空泵 | 科儀/鮑絲 | ||
| 截止閥 | 日本進口 | ||
| 耐蝕閥 | 日本進口 | ||
| 低壓電器 | 法國施耐德 | ||
| 按鈕開關 | 中國臺灣久晨/法國施耐德 | ||
| 磁性接近傳感器 | 日本歐姆龍 | ||
| 加熱器 | TORCH | ||
| 關鍵技術指標 | 溫度參數 | 低溫清洗，保持在室溫清洗 | |
| 真空度 | 5pa | ||
| 氧含量 | <1ppm | ||
| 生產效率 | 20-120S | ||
| 工藝關鍵指標 | 質量追溯 | 1、工藝氣體壓力報警記錄。2、氧含量報警記錄。3、溫度超溫報警記錄。4、真空值不達標報警記錄 | |
| 設備智能化信息化 | 1、設備具備智能化功能，以上四項指標有一項不達標或者報警，設備就整體報警，并提示停止生產。確保產品的生產質量。2、設備具備能源管理系統，耗電量和消耗氮氣的量，在能源管理系統實時統計并顯示。3、以上所有信息都可以通過設備數據接口無縫對接MES系統，方便管理人員決策管理。 | ||
| 廠務條件 | 電 | 380VAC，20A | |
| 氣 | 壓縮空氣（CDA）0.5Mpa | ||
| 氮氣 | 0.5Mpa | ||
| 真空 | 設備配置真干泵 |
