日本ARK用于晶圓外圍器件曝光的UV-LED光源EW01S
用于g線和i線光刻膠晶圓外圍曝光的UV-LED光源。
它可以很容易地安裝在新設備中,也可以用目前使用的紫外燈光源代替。
UV-LED的安裝通過降低功耗,減少環(huán)境影響,延長光源壽命以及消除對任何機械消耗件的需求,極大地降低了客戶的運行成本。
日本ARK用于晶圓外圍器件曝光的UV-LED光源EW01S
規(guī)范
項目 | 物質 |
---|---|
工作環(huán)境溫度 | 5~40°C(無冷凝。 ) |
電源電壓 | 單相 100~240V |
工頻 | 50/60赫茲 |
發(fā)射峰值波長 | 365±5納米 |
光輸出穩(wěn)定性 | ±5%以內(nèi) |
初始紫外線強度 | 2000mW/cm2以上(AT365nm,距掩模0.5mm) |
強度分布的均勻性 | 10%以下(4×5mm面積) |
紫外光源 | 紫外發(fā)光二極管 |
紫外光源壽命 | 20000,50 小時(估計使用壽命,最大驅動電流)* 紫外線強度為初始強度的 <>% 或更多時的照明積分時間 |
照射開/關功能 | 紫外線 LED 開/關控制 (通過遠程和手動控制打開/關閉) |
光強調節(jié)功能 | UV-LED電流調節(jié) 光強調節(jié)范圍 20~100% |
外飾材料 | 不銹的 |
外部尺寸 | 150(寬)×200(深)×192(高)毫米 |