變螺距螺桿真空泵的特點

極限真空

的間隙設計和連續的壓縮方式，單泵就可達到0.0075torr（1pa）的極限真空。

耐腐蝕

使用有耐腐蝕的性涂層材料。通過氣鎮閥裝置降低腐蝕性氣體的分壓力，可防止腐蝕性氣體凝結在泵腔內，進一步提高耐腐蝕能力。

冷卻效果

采用符合流體動力學的螺旋形冷卻水套，熱交換效率優秀。泵內部維持合理的較低的溫度，所以涂層損傷很低。

節能

變螺距螺桿的節能型設計，可降低30%的電力消耗。無需把冷卻氣體供應到泵的內部。

可靠的密封結構

唇形密封和機械密封加上氣體密封，形成三重密封結構。安裝專為干式真空泵設計的高性能機械密封。

優異的適當加壓的氣體密封裝置，進一步提高了齒輪油和被抽流程氣體之間的密封性。

流暢的排出構造

迅速的排氣構造。液體處理能力優秀。排出氣體的脈動減少。

氣鎮閥裝置的安裝

防止強腐蝕性氣體的凝結。降低易爆氣體的分壓力。

齒輪油冷卻水套

保持較低的油溫。防止因齒輪油高溫高壓產生漏油現象。防止因高溫帶來的齒輪油性能降低。

螺旋式夾套冷卻系統

采用符合流體動力學的螺旋形冷卻水套，熱交換效率優秀。無需把冷卻氣體供應到泵的內部。標準為直冷設計外部冷卻器作為選項

噪音和振動

噪音(Noise),60Hz : 小于 82dB, 85dB ,50Hz : 小于 79dB, 82dB,

振動(Vibration)

RMD150, RMD300, RMD400 : 小于 1.8mm/s,

RMD800 : 小于 2.8mm/s

RMD1500 : 小于 2.8mm/s

(基于ISO2372 : 4.5 mm/s)

技術數據

外形尺寸表