一、簡介

Zeta-300光學(xué)輪廓儀是非接觸式3D表面形貌測量系統(tǒng)，具有集成的隔震系統(tǒng)和靈活的配置。該系統(tǒng)采用ZDot™測量技術(shù)和Multi-Mode (多模式)光學(xué)系統(tǒng)，可以對(duì)各種不同的樣品進(jìn)行測量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的紋理，以及納米至毫米級(jí)別的臺(tái)階高度。

Zeta-300的配置靈活并易于使用，并集合了六種不同的光學(xué)量測技術(shù)。ZDot™測量模式可同時(shí)采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color（真彩）無限遠(yuǎn)焦點(diǎn)圖像。其他3D測量技術(shù)包括白光干涉測量、Nomarski干涉對(duì)比顯微鏡和剪切干涉測量。ZDot或集成寬帶反射儀都可以對(duì)薄膜厚度進(jìn)行測量。Zeta -300提供全面的臺(tái)階高度、粗糙度和薄膜厚度測量，以及缺陷檢測能力，支持研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境。

二、 功能

?   主要功能

臺(tái)階高度：納米到毫米級(jí)別的3D臺(tái)階高度

紋理：平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波紋度

外形：3D翹曲和形狀

應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力

薄膜厚度：30nm到100μm透明薄膜厚度

缺陷檢測：捕獲大于1μm的缺陷

缺陷復(fù)檢：采用KLARF文件作為導(dǎo)航以測量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置

?   技術(shù)特點(diǎn)

Zeta-300是采用ZDot和Multi-Mode（多模式）光學(xué)器件的簡單易用的光學(xué)輪廓儀，具有廣泛的應(yīng)用：

可用于樣品復(fù)檢或缺陷檢測的高質(zhì)量顯微鏡。

Z-Dot：同時(shí)采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color（真彩）無限遠(yuǎn)焦點(diǎn)圖像

ZXI：白光干涉測量技術(shù)，適用于Z向分辨率高的廣域測量

ZIC：干涉對(duì)比度，適用于亞納米級(jí)別粗糙度的表面并提供其3D定量數(shù)據(jù)

ZSI：剪切干涉測量技術(shù)提供z向高分辨率圖像

ZFT：使用集成寬帶反射計(jì)測量膜厚度和反射率

AOI：自動(dòng)光學(xué)檢測，并對(duì)樣品上的缺陷進(jìn)行量化

生產(chǎn)能力：通過測序和圖案識(shí)別實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測量，支持3D Scanning

大尺寸Wafer測量：測量尺寸可擴(kuò)展至8寸

?   技術(shù)能力

三、應(yīng)用

?   肖特玻璃-表面粗糙度

可用來測試玻璃等透明表面及不透明表面的形貌和表面粗糙度。

?   太陽能電池–不同反射率表面形貌測量

輕松獲得復(fù)雜差異化反射率樣品的表面形貌。

?   MEMS器件–臺(tái)階高度和粗糙度

小尺寸樣品nm級(jí)臺(tái)階精度，大尺寸樣品的亞微米臺(tái)階精度。

?   鏡頭-完整的表面輪廓

圖像拼接功能，可獲得大面積樣品的完整表面輪廓。

?   高分子薄膜-膜厚測量

可用于PI和PR薄膜的厚度測量，并可生成整片晶圓上的膜厚mapping。

?   藍(lán)寶石-圖案化晶片表面缺陷

可對(duì)特定缺陷進(jìn)行三維輪廓掃描并進(jìn)行相關(guān)測量，并對(duì)晶圓表面缺陷按尺寸、亮度、長寬比等進(jìn)行分布統(tǒng)計(jì)并生成mapping。

四、其他

?   國內(nèi)用戶

南京大學(xué)

南京郵電大學(xué)

上海交通大學(xué)

?   國外用戶

麻省理工學(xué)院

加州大學(xué)達(dá)拉斯分校

耶魯大學(xué)

德州大學(xué)分校

西部數(shù)據(jù)

應(yīng)用材料

博世

萊徹斯特大學(xué)

希捷