SuperViewW三維光學輪廓儀測量儀部分參數
Z向分辨率：0.1nm
橫向分辨率(0.5λ/NA)：100X~2.5X：0.5um~3.7um
粗糙度RMS重復性：0.1nm
表面形貌重復性：0.1nm
臺階測量:重復性：0.1% 1σ；準確度：0.75%
【功能強大，參數齊全】
粗糙度、平面度、孔洞分析等3D測量功能全部囊括，距離、角度、直徑測量等2D輪廓分析功能覆蓋，有依據ISO|ASME|EUR|GBT四大國內外標準的300余種特征參數。
【高重復精度，穩定可靠】
采用了掃描模塊和內部抗振設計，可實現高0.05%的測量精度重復性和0.002nm的粗糙度RMS重復性。
【操作便捷，簡單明了】
直觀的操作界面，讓您對操作流程一目了然，自動聚焦，助您一鍵實現測量過程；可視化的工作流程樹，一鍵激活的圖庫管理功能，所見即所得的分析功能，有一鍵分析功能，批量測量不用愁。
【3D測量，一覽無余】
采用白光干涉技術，結合具有優異抗噪性能的3D重建算法，真實還原樣品的每一個細節，隨意翻轉縮放，輕松觀察、測量樣品的任意特征。
【廣泛應用，貼心服務】
可測2D/3D輪廓、粗糙度，300余種特征參數……光學3D表面輪廓儀在半導體、精密加工及微納材料等領域可得到廣泛應用，光滑硅晶片表面粗糙度、精密非球面弧面線粗糙度、金字塔型磁頭夾角、微透鏡陣列曲率半徑等。
SuperViewW系列三維光學輪廓儀測量儀采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和優異的3D重建算法組成測量系統，保證測量精度高。廣泛應用于如納米材料、航空航天、半導體等各類精密工件表面質量要求高的領域中，可以說只有3d非接觸式光學輪廓儀才能達到微型范圍內重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數的測量。
