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NanoFocus激光共聚焦顯微鏡是一個表面的精密三維測量分析集于一體的。 µsurf explorer適用于計量測試實驗室以及在生產環境中使用由于它的堅固性。用共聚焦顯微鏡 µsurf explorer測量快速、簡單的幾步的功能。靈活和用戶友好的光學測量系統已成功地應用于許多公司和行業的粗糙度測量,根據ISO,測量地形,微觀幾何形狀,層厚度或其他參數。 µsurf explorer是在汽車行業,成功部署的醫療技術、微電子技術、造紙和印刷業、鋼鐵業、光學生產。
NanoFocus系列產品采用多孔共聚焦技術,結合CCD的影像攝取,以有許多孔洞的旋轉盤取代偵測器的孔洞,再將物鏡垂直移動,以類似斷層攝影方式,可在短時間(約幾秒)內精確量測物體的三維數據。其測量方式是非接觸式,不會破壞樣品的表面,不需要在真空環境下測量,也可以用共聚焦顯微鏡測量的功能來觀測樣本,其在嚴酷的工作環境下,也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法,在測量漸變較大的高度時,跟其他方法相比,可以更精確量測物體高度,建立3D立體影像,優勢相當明顯。
以的快速和三維大面積掃描區分其本身,具有高的動態和測量精度。剖面數據可以精確地獲得幾乎所有的表面,獨立于不同的反射特性或斜率。µscan select+測量范圍從毫米到微米范圍內。非常快的測量速度允許高吞吐率。三維直線傳感器適用于在各種工業領域和研究范圍從汽車、微系統中的應用,電子和半導體醫療技術和其他。