型號名稱:日立EA6000VX
X射線源:50kV、1mA、空冷式
檢測器:半導(dǎo)體檢測器(無需液氮)
一次濾波器:6種模式自動切換
準(zhǔn)直器:0.2、0.5、1.2、3mm 自動切換
樣品室大小:W580mm×D450mm×H150mm
可全面測量250mm×200mm樣品
EA6000VX能量色散型X射線熒光分析儀特點(diǎn):
1.快速掃描
憑借大150萬CPS的高計(jì)數(shù)率檢測器完成高靈敏度的測量,以及借助大250 mm×200 mm范圍掃描的快速電動樣品臺,實(shí)現(xiàn)快速掃描測量。對于范圍為100 mm×100 mm的情況,可在2~3分鐘內(nèi)檢測出端子部分的鉛并確定其位置。
2.連續(xù)多點(diǎn)測量
多可500個測量位置進(jìn)行連續(xù)多點(diǎn)測量。由于采用自動測量方式,因此在測量大量樣品是,也可發(fā)揮高效率。
3.高精密重合
通過Telecentric Lens 系統(tǒng)和高速?高精度XY平臺,將元素掃描像和光學(xué)成像進(jìn)行重合對微小部品的中心部分的目標(biāo)元素也能進(jìn)行簡單觀察。大250 mm×200 mm上方觀察,并且能夠?qū)崿F(xiàn)廣域位置小誤差為100 μm以內(nèi)的定位。
4.微小部位測量
在FT系列中被的測量鍍膜膜厚儀器就是由EA6000VX。不用說極薄的鍍金等膜厚測量,即便是在進(jìn)行鍍膜鐘所含的Pb等有害物質(zhì)分析的膜壓測量的同時(shí)也可進(jìn)行膜厚測量。比如也可進(jìn)行無鉛焊錫鍍層及引線框架上Sn鍍層,無電解Ni鍍膜中所含的有害物質(zhì)的濃度測量。
5.環(huán)境中限制物的測量
RoHS等限制物的高靈敏度測量,短時(shí)間內(nèi)測出樹脂、金屬等中含有的微量環(huán)境限制物。對復(fù)合樣品也可專注到特定部位進(jìn)行測量
6.輕元素測量
通過安裝充氦選購項(xiàng),可以分析鈉開始的輕元素。測量中能夠獨(dú)立運(yùn)轉(zhuǎn)的氦氣系統(tǒng)。將使用成本降低。
7.透視掃描機(jī)能
筆記本、手機(jī)等不能透過外包裝看到內(nèi)部構(gòu)造的產(chǎn)品,無需拆解就可得到不僅僅是基板上的Pb,甚至其他各種元素的掃描圖。通過比較X射線照射后得到的元素掃描圖像,可以了解關(guān)于產(chǎn)品內(nèi)部部件構(gòu)造的各種情報(bào)。
8.異物檢測EA6000VX
EA6000VX通過快速掃描功能可以在幾分中內(nèi)檢測出寬廣范圍(大250 mm×200 mm)內(nèi)含有的幾十 μm的微小金屬異物,并查明其具體位置。也可檢測出樹脂等有機(jī)物內(nèi)部還有的微小、微量金屬異物。
9.安全、安心的操作性
自動接近、防止沖撞功能 操作臺上樣品一旦設(shè)定好啟動后,自動測量出樣品的高度,移動到適合的測量高度。即便是復(fù)雜形狀的樣品,操作員也可輕松測量。另外,即便通過操作指南調(diào)整了測量高度,由于安裝了防止沖撞傳感器,因此不會使樣品受到損傷。