在產生等離子體的過程中，高頻放電所產生的瞬間高能copy量能夠打開某些有害氣體分子的化學能，如：氨、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫.醚、二.甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分2113子鏈分解為單質原子或無害分子。

等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、搜索激發態粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分廢氣分5261子碰撞結合，在電場作用下，廢氣分子處于激發態，當廢4102氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時，廢氣分子的分子鍵斷裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成得無害氣體分子。同時產生的大量?OH、?HO2、?O等活性自由基和氧化性1653的O3，能與有害氣體分子發生化學反應，后生成無害產物。

等離子體被稱為物質第4形態，由電子、離子、自由基和中性粒子組成。低溫等離子體有機氣體凈化器是利用等離子體。以每秒800萬次至5000萬次的速度反復轟擊異味氣體的分子，去電離、裂解廢氣中的各種成份，從而發生氧化等一系列復雜的化學反應，再經過多級凈化，將有害物轉化為潔凈的空氣釋放至大自然。

低溫等離子廢氣凈化器工作原理是采用高壓發生器形成低溫等離子體，在平均能量約5eV的大量電子作用下，使通過凈化器的有害物質如苯、甲苯、二甲苯等有機廢氣分子轉化成各種活性粒子，與空氣中的O2結合生成H2O、CO2等低分子無害物質，使廢氣得到凈化。在處理過程中，當有機氣體進入冷離子體反應室時，氣體被均勻分配到等離子反應室（PRC）。反應室分成六邊形管子，每根管子的中間有一根金屬絲桿電極，與反應室獨立隔開。通過高壓線對反應室導通可調節高壓，高壓導通到管子里的金屬絲桿電極上。由金屬絲桿電極至管壁產生放電現象。一旦放電，等離子體電子就與氣體分子相撞擊，產生化學性活性核素，就是通常所說的激進和負荷載體。

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