【大流量、小體積】
流量范圍:0.5~1000?/min
500、1000L/min型實現了比原有體積減少30%的小型化。
【無需直管部位】
內置新的整流機構,上游側和下游側均無需直管部位,可自由設置。
【雙方向測量】
顯示一體型、雙向型可任意設定流向進行測量。
【高速響應】
采用經過硅微加工的白金傳感器芯片,實現50m/sec的響應速度。
【潔凈規格】
標配有P70(防止發塵)、P80(禁油規格)產品。
半導體、液晶制造領域的用途。
型號 | 名稱 | 流量范圍(L/min) | 配管口徑(Φ, Rc) | 備注 |
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FSM2-A | 顯示分離型 | 0.5~1000 | 4~10, 1/8, 1/4, 1/2 | 2022年01月31日 銷售中止 |
FSM2-N | 顯示一體型(開關輸出NPN 2點、模擬輸出1點) | 0.5~1000 | 4~10, 1/8, 1/4, 1/2 | 2020年01月31日 銷售中止 |
FSM2-P | 顯示一體型(開關輸出PNP 2點、模擬輸出1點) | 0.5~1000 | 4~10, 1/8, 1/4, 1/2 | 2020年01月31日 銷售中止 |