ContourX-200 三維光學(xué)輪廓儀
靈活的臺式表面形貌測量設(shè)備
ContourX-200光學(xué)輪廓儀融合了高級表征、可定制選項(xiàng)和易用性,可提供的快速、準(zhǔn)確和可重復(fù)的非接觸式三維表面計(jì)量方法。該設(shè)備作為可用于計(jì)量的小尺寸系統(tǒng),配置了大視場的5百萬像素?cái)z像頭和新型電動XY載物臺,可提供高性能的的2D / 3D高分辨率測量功能。
ContourX-200還配有業(yè)界的操作和分析軟件Vision64®。的VisionXpress™提供了更易于使用的界面和簡潔的功能,可訪問多種預(yù)編程濾鏡和分析工具,用于精密加工的表面,薄膜,半導(dǎo)體,眼科,醫(yī)療設(shè)備,MEMS和摩擦學(xué)等領(lǐng)域的測量分析。
ContourX-200具有的Z軸分辨率和準(zhǔn)確性,提供了布魯克專有的白光干涉儀(WLI)的所有業(yè)界的優(yōu)點(diǎn),卻沒有傳統(tǒng)共聚焦顯微鏡等產(chǎn)品的局限。
性能表面計(jì)量
。與放大倍率無關(guān)的業(yè)界Z軸分辨率
。尺寸的標(biāo)準(zhǔn)視場
。穩(wěn)定集成防震設(shè)計(jì)
的測量與分析功能
。易于使用的界面,可快速準(zhǔn)確地獲得結(jié)果
。自動化功能用于日常測量和分析
。泛的濾鏡和分析工具選項(xiàng),用于粗糙度和關(guān)鍵尺寸測量分析
。滿足包括ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287等標(biāo)準(zhǔn)在內(nèi)的定制化分析報(bào)告
的計(jì)量設(shè)備
基于超過四十年的專有WLI創(chuàng)新,ContourX-200光學(xué)輪廓儀展現(xiàn)出定量計(jì)量所需的低噪聲、高速、高精度的準(zhǔn)確結(jié)果。通過使用多個(gè)鏡頭和集成的特征識別功能,設(shè)備可以在各種視野內(nèi)以亞納米垂直分辨率跟蹤特征,從而提供不受放大倍數(shù)影響的結(jié)果,可用于各種不同行業(yè)中的質(zhì)量控制和過程監(jiān)控應(yīng)用。
ContourX-200對于反射率從0.05%到100%的各種表面都非常易于測量。
面的分析能力
利用強(qiáng)大的VisionXpress和Vision64用戶界面,ContourX-200提供了上千種定制分析參數(shù),以提高實(shí)驗(yàn)室和工廠車間的生產(chǎn)率。系統(tǒng)新攝像頭提供了更大視野,新型電動XY平臺提供了更靈活定位能力,為各種樣品和零件提供了更大的適用性和更高的測試通量。硬件和軟件組合提供了對高可重復(fù)性和高通量計(jì)量學(xué)測量功能的便捷訪問,超過了同類計(jì)量設(shè)備的能力。