一、 產品概述

采用關鍵機械加工技術的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優勢的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質量流量計和流量控制器，主要應用于輕工、化工、環保及半導體等工業部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。

該產品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償。

二、 技術參數

2.1 測量介質：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）

2.2 流量范圍： DN3 100-1000ml/min

DN4 250-2500ml/min

DN6 1000-10000ml/min

DN8 1500-15000ml/min

DN10 2500-25000ml/min

DN18 10-100SLM

注：(a)以上流量的測量介質為空氣而言；

(b)以上流量的標準狀態20℃，101.325kPa。

(c) 每個口徑量程范圍均可擴大

((d)特殊需要可聯系廠家單獨標定

2.3 流量測量準確度：±1.5%FS；±2.5%FS

2.4 工作溫度范圍：0-55℃；

2.5 工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa

2.6 供電電源：24VDC±10%；

2.7 輸出信號：4-20mA，RS485通訊；

2.8 環境溫度：0-55℃；

2.9 顯示位數：瞬時流量為三位，累積流量10位。

三、 工作原理

uf感熱式芯片技術是采用大規模集成電阻的工作， 保證傳感器的高度一致，解決了：“現在傳統的熱式質量流量計無法保證其傳感器的電阻值的一致性，導致傳感器在各個法線方向熱傳導速度的差異，所以傳統的熱式質量流量計在傳感器校準和使用過程中產品穩大定性存在問題，實際應用中的熱式質量流量計價格昂貴，大規模應用比較難”的問題。而uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質量流量計，同時可靠性穩定,安全性更好。

在芯片上，一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導，使動態響應時間大大提高。當傳感器工作時，微熱源與環境溫度之間保持一定的溫差（通常是70℃），在芯片周圍形成固定的溫度場分布。如果氣體是單向流動，則在氣道中溫度場可用下述公式來計算：

式中：氣體流動方向為ｘ，速度為ｖ，ａ為擴散率。

如上圖（式）所示，當氣體流過芯片時，將會帶走熱量，通過質量流量qm和電壓V的對應關系來計算流體的質量流量。

四、產品特點

1、產品集成度高，集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體，并可實現自動調節、控制閥門。

2、μf微流量感熱式傳感器采用大規模集成電路生產技術和材料加工技術，使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升。

3、微小流量氣體測量，ml/min級的微流量測控，實現微小流量測量的數字化。

4、單個芯片的流量特性的微處理技術，使流量計的量程范圍大大提高。

5、機電一體化優化設計，智能化的數據處理技術，使流量計具有更好的重復性，實現了計量的準確、可靠。

5、結構的優化，MFM流量計的壓力損失達到最小化。

6、采用國際的MF傳感技術，使流量計工作更穩定、可靠。

7、零點自校功能，測量更準確。

8、多種氣體實際標定，全量程補償。

9、快速響應、數據自動存儲，配合上位機可實現網絡集中管理。

10、規格齊全，量程范圍寬，可根據用戶要求單獨標定。

11、精度等級高，滿足用戶高精度測量要求。

12、的流量計報警功能，使監控更可靠。

13、操作、設置界面友好、簡便，可根據需要自行設定相關參數。

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14、運用行業多，是科研院所、分析儀表行業、半導體行業、光伏行業、玻璃鍍膜、石油化工行業微小氣體流量控制產品升級換代的。

1五、產品分類與命名

微氣體質量流量計的型號命名