設備簡介：
該設備為我司研發用于石墨烯薄膜連續生長或者線性材料的連續的專用設備，此款設備是快速冷卻卷對卷等離子體增強CVD連續生長爐，它由高溫生長腔體，三路質量流量計氣路系統，真空機組，RF射頻電源模塊，石英管，冷卻裝置，收放卷的密封裝置，自動化控制系統組成，兩端分別安裝有進料進氣真空腔室和出料排氣真空腔室，收放密封裝置內分別對應安裝有放卷滾輪和收卷滾輪，所輸出料排氣腔體與爐體之間安裝有冷卻裝置。相對于現有技術具有快速冷卻、連續生長的優點，可以進行大面積、高質量石墨烯的規
1.加熱系統
溫度 | 1200℃ |
使用溫度 | ≤1100℃ |
爐膛有效尺寸 | Φ80mm（適用于2-3英寸樣品，爐管直徑可根據實際需要定制。） |
爐膛材料 | 氧化鋁、高溫纖維制品 |
熱電偶類型 | K型熱電偶 |
控溫精度 | ±1℃ |
控溫方式 | 30段可編程控溫，PID參數自整定，操作界面為7”工控電腦，內置PLC控制程序。 |
加熱長度 | 200+200+200mm |
加熱原件 | 電阻絲 |
供電電源 | 單相，220V，50Hz |
2、PE系統
功率輸出范圍 | 0W~500W |
反射功率 | 100W |
射頻輸出接口 | 50 Ω, N-type, female |
功率穩定度 | ≤5W |
諧波分量 | ≤-50dbc |
供電電壓 | 單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ |
整機效率 | >=70% |
功率因素 | >=90% |
冷卻方式 | 強制風冷 |
功率輸出范圍 | 0W~500W |
反射功率 | 100W |
射頻輸出接口 | 50 Ω, N-type, female |
功率穩定度 | ≤5W |
3.三路質子流量控制系統
連接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 |
標準量程（N2) | 200sccm，500sccm、1000sccm（可根據用戶要求定制） |
準確度 | ±1.5%F.S |
線性 | ±1%F.S |
重復精度 | ±0.2%F.S |
響應時間 | 氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
工作壓差范圍 | 0.1～0.5 MPa |
壓力 | 3MPa |
接口 | Φ6,1/4'' |
顯示 | 4位數字顯示 |
工作環境溫度 | 5~45高純氣體 |
壓力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止閥 | Φ6 |
內外雙拋不銹鋼管 | Φ6 |
4、低真空機組
空氣相對濕度 | ≤85% |
工作環境 | 5℃～40℃ |
工作電電壓 | 220V±10% 50~60HZ |
功率 | 1KW |
抽氣速率 | 10m³/h |
極限真空 | 5X10-1Pa |
工作壓力范圍 | 1.01325X105～1.33X10-2Pa |
耐壓值 | 0.03MPa |
容油量 | 1.1L |
進氣口口徑 | KF25 |
排氣口口徑 | KF25 |
噪音 | 50dB |
連接方式 | 采用波紋管，手動擋板閥與波紋管相連 |
