KJ-T1200 CVD是一種管式爐,配備100mm直徑石英管、真空泵和五通道質量流量計氣體流動系統。 它可以混合1-5種氣體用于CVD或擴散。
技術參數:
產品名稱 | 1200度CVD設備 | |
型號 | KJ-T1200 | |
部分:標準件 | ||
Tube Furnace | 顯示 | 7”液晶觸摸屏 |
溫度 | 1200℃ | |
工作溫度 | ≤1100℃ | |
升溫速率 | 0~10℃/min | |
溫區長度 | 440mm | |
加熱元件 | 鉬電阻絲 | |
熱電偶 | K型 | |
溫度控制精度 | ±1℃ | |
爐管 | 100 x 1000mm (OD x minimum L) | |
材質:石英管 | ||
溫度控制 | 通過可控硅功率控制進行PID自動控制 | |
加熱曲線 | 30 步可編程 | |
真空法蘭 | 不銹鋼真空法蘭。 法蘭的一端有 1 個帶刺針閥,安裝有機械壓力表。 法蘭的另一端有一個帶倒鉤針閥的 KF25 端口 | |
功率 | 220V, 50 Hz, 單相. 4KW | |
真空泵 | 旋片真空泵 | 極限真空 10-3 托。 管內的真空度約為 10-1 Torr。 (RM溫度和空管條件) 流量:2L/S 旋片真空泵將被設計成帶輪子的推車。 帶連接附件 包括數字真空計 |
質量流量計 帶液晶觸摸屏控制器 | 一個浮子流量計+五個精密質量流量計: MFC 精度為:±1.5% F.S. MFC 1 用于氮氣:氣體流量范圍為 0~100 sccm 氫氣用 MFC 2:氣體流量范圍 0~200 sccm MFC 3 for methan : 氣體流量范圍為 0~300 sccm 氬氣用 MFC 4:氣體流量范圍 0~400 sccm 氧氣用 MFC 5:氣體流量范圍 0~500 sccm 一個氣體混合罐(僅適用于5 MFC)安裝在底殼上,4個不銹鋼針閥安裝在底殼左側,用于手動控制4種氣體混合。 |
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