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混氣PECVD設備

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱鄭州科佳電爐有限公司
  • 品       牌
  • 型       號KJ-T1200 P
  • 所  在  地
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間2022/9/2 9:19:30
  • 訪問次數299
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  鄭州科佳電爐誠招產品代理,提供OEM代工。    



科佳電爐有限公司專業研發、制造高低溫加熱干燥設備、UV(紫外線)干燥設備。公司擁有優良的加工設備和*的加工工藝和檢測方法。主營產品。其中高溫加熱設備有:實驗電爐箱式電爐管式電爐馬弗爐高溫電爐鐘罩爐升降爐真空爐井式爐氣氛爐

   低溫加熱干燥設備有:工業精密熱風烤箱、潔凈型熱風烤箱、無塵、無氧化烤箱、隧道式烤箱、紅外線烤箱等;UV(紫外線)干燥設備UV固化機、UV干燥機、UV上光機等。我們堅持以客戶需求為導向,致力于不斷提高產品的質量和完善的服務,努力確保客戶滿意。

     我們在堅持自主創新的基礎上吸收國內外優秀產品的*技術,結合國內實際情況研究開發、生產高低溫干燥設備UV干燥設備高溫加熱干燥設備產品廣泛用于大專院校、科研院所,各類企業等;廣泛用于陶瓷化工電子冶金新材料開發機械耐火材料建材特種材料等領域的實驗和生產。低溫加熱干燥設備和UV(紫外線)干燥設備廣泛應用于PCB、FPC、LCD、LCM、TOUCH PANEL、LED、EL、MLCC、IC封裝、CMOS、SMT、電腦鍵盤、薄膜開關硅膠按鍵光學鏡片線圈、化工、木器、運動鞋商標印刷、紙張印刷、汽車配件塑膠領域。產品遠銷美洲、歐洲、中東、東南亞等地。

科佳公司全體員工真誠希望與各界朋友,攜手共進,合作共贏!

實驗電爐,馬弗爐,旋轉升降爐,高溫真空爐
產品描述:KJ-T1200PECVD是一種PECVD(等離子體增強化學氣相沉積)的管式爐系統,它由500W射頻電源、帶有200毫米直徑石英管的可拆分管式爐、真空泵和三通道質量流量計氣體流動系統組成
混氣PECVD設備 產品信息
產品描述:
    KJ-T1200 PECVD 是一種 PECVD(等離子體增強化學氣相沉積)的管式爐系統,它由 500W 射頻電源、帶有 200毫米直徑石英管的可拆分管式爐、真空泵和三通道質量流量計氣體流動系統組成。它可以混合 1-3 種氣體用于 CVD 或擴散。
 
產品參數:
 
型號KJ-T1200 PECVD
部分:標準件
等離子射頻電源
 
輸出功率5 -500W可調,均勻性 ± 1%
RF頻率13.56 MHz ±0.005%
反射功率 200W
射頻輸出端口50 Ω,N型
噪音<50 dB.
冷卻空氣冷卻
管式爐部分
 
顯示LED
形式分體式和上部可打開
連續工作溫度≤1100℃
升溫速率建議:0~10℃/min(20℃/min)
溫區長度500mm
加熱元件含鉬電阻絲
熱電偶K型
溫度均勻性±1℃
爐管尺寸200m外徑 X 長度1600mm
材質:石英管 
溫度控制通SCR功率控制進行 PID 自動控制
加熱曲線30步可編程
法蘭不銹鋼帶閥真空法蘭 
電壓380V, 50 Hz, 三相 20KW
真空泵
 
旋片真空泵
流量:4L/S
旋片式真空泵將設計成帶輪的推車。
質量流量計三款精密質量流量計:
MFC 1:氣體流量范圍為 0~100 sccm
MFC 2:氣體流量范圍為 0~100 sccm
MFC 3:氣體流量范圍從 0~100 sccm
(或根據您的要求)
底殼安裝1個氣體混合罐,底殼左側安裝3個不銹鋼針閥,手動控制3種氣體混合
 
數字真空計皮拉尼數字真空計 
 
 

 
 
 
 
 
 
 

 

 

售后服務

 

 1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優質的維修服務。
 2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
 3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
 4、我公司技術人員可提供(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
 5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。
 6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。

 

 

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