KJ-T1200-S60LC-H2石墨烯制備機是由KJ-T1200開啟式滑軌管式爐、真空系統、質量流量計氣路系統、等離子電源系統組成。可適用于石墨烯生長等。
主要功能和特點：
1、PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質量好、針孔較少、不易龜裂等；
2、真空系統由旋片真空泵和進口數顯真空計組成，真空可達10Pa；
3、數字質量流量控制系統是由多路質量流量計，流量顯示儀等組成，實現氣體的流量的精密測量和控制；觸屏操作，操作簡單方便。
4、采用KF快速法蘭密封，裝卸方便快捷；管路采用世界卡套連接，不漏氣；
設備主要技術參數：
| 產品名稱 | 石墨烯生長爐PECVD設備(CE認證) |
| 開啟式滑軌管式爐部分 | |
| 產品型號 | KJ-T1200-S60LC-H2 |
| 爐管尺寸 | Φ60mmX1600mm |
| 加熱區 | 300mm |
| 工作溫度 | 1100℃ |
| 溫度 | 1200℃ |
| 溫控方式 | K型熱電偶 |
| 控制方式 | 溫度控制系統采用觸屏操作，人工智能調節技術，具有 PID 調節、自整定功能并可編制 30 段升降溫程序； |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 溫控保護 | 具有超溫和斷偶保護功能 |
| 升溫速率 | 0-20ºC/min ，建議10ºC/min |
| 加熱元件 | 含鉬電阻絲 |
| 工作電壓 | AC 220V 單相 50HZ |
| 加熱功率 | 3KW |
| 爐膛材料 | 氧化鋁多晶纖維 |
| 密封系統 | 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸，氣密性好。 |
| 爐體結構 | 滑軌結構，可以實現快速降溫 |
| 爐 管 | 石英爐管 |
| 真空系統部分 | |
| 名稱 | 真空系統 |
| 主要參數 |
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| 氣路系統部分 | |
| 名稱 | 四路質量流量計 |
| 主要參數 | 四通道精密質量流量計：觸屏控制，數字顯示。流量范圍流量范圍： 1.MFC 1-MFC4：0-1000sccm可調 2.一個混氣罐 3.4個不銹鋼針閥安裝在供氣系統的左側，可手動控制4種氣體； 4.進出氣口：4進1出 流量控制：手動旋轉式調節 連接方式：雙卡套連接 |
| 等離子電源部分 | |
| 名稱 | 500W等離子電源 |
| 功率范圍 | 0-500W（連續可調） |
| 工作頻率 | 13.56MHZ+0.005% |
| 工作模式 | 連續輸出 |
| 功率穩定度 | ≤2W |
| 反射功率 | 70W |
| 電源保護設置 | DC過流保護，功放過溫保護，反射功率保護 |
| 供電電壓/頻率 | 單相交流（187V-253V）50-60HZ |
| 冷卻方式 | 風冷 |
| 整機重量 | 13.5KG |
| 隨機贈送 | 石英管1支、坩堝鉤、爐塞、密封圈、水冷機、硅膠管、內六角扳手、說明書、保修卡等 |
| 售后服務 | 整機質保一年，終身保修（加熱元件、密封圈等隨機贈送配件不屬于質保范圍） |
1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務（易損件除外），在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障，均予以免費維修。保修期滿后，仍提供終身的、優質的維修服務。
2、在設備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設備正常運行。
3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術人員可提供(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、本公司可提供運輸服務，包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等）。
6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。
