KJ-T1200大口徑CVD管式爐是一種具有60mm直徑石英管，真空泵和三通道質(zhì)量流量計(jì)氣體流動(dòng)系統(tǒng)的可拆分管式爐。 它可以混合1-3種氣體用于CVD或擴(kuò)散。
產(chǎn)品用途：
包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。
也可用于：真空燒結(jié)、真空氣氛保護(hù)燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備等多研究領(lǐng)域。
產(chǎn)品參數(shù)：
| 型號(hào) | KJ-T1200-CVD |
| 顯示 | 液晶顯示屏 |
| 部分 | |
| 爐膛 | 分體式和上部可以打開 |
| 工作溫度 | 1100°C |
| 加熱速率 | 建議：0?10℃/ min（20℃/ min） |
| 加熱溫區(qū) | 500mm |
| 加熱元件 | 鉬電阻絲 |
| 溫度控制精度 | ±1℃ |
| 爐管尺寸 | 外徑200mm X長(zhǎng)度1200mm |
| 供電電源 | 三相380V，50HZ |
| 功率 | 20KW （功率以實(shí)際設(shè)計(jì)為準(zhǔn)） |
| 溫度控制器 | 30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器 |
| 第二部分混氣系統(tǒng) 七星華創(chuàng) | |
| 量程 MFC1 H2 0-200sccm 氫氣 MFC2 NH3 0-200sccm 氨氣 (D07-26C 即可，但是需要特殊要求耐氨的) MFC3 SiH4 0-200sccm 硅烷（CS200A 硅烷專用流量計(jì)） | LCD觸摸屏 |
| 第三部分 電阻硅真空計(jì) | |
| 第四部分 射頻電源 | |
| 更多規(guī)格可根據(jù)需求定制 | |
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