本工藝有3至9個(gè)微波激發(fā)單位，根據(jù)被處理風(fēng)量的不同數(shù)量不同，微波由于它的頻率相對(duì)比較高，在納秒的時(shí)間內(nèi)有 效作用于被處理空間(區(qū)域)，由于微波的功率相對(duì)較小，因此在激發(fā)能力上也就是說(shuō)電子的獲能躍遷能力上有限，本設(shè)計(jì)只是把微波作為初頻激發(fā)源，在處理過(guò)程中作為一種預(yù)激發(fā)能。由于微波的預(yù)激功能，大的提高等離子體區(qū)，板區(qū)的激發(fā)能力和處理效果，由于微波技術(shù)的運(yùn)用，本工藝在同類設(shè)備的比較中顯得設(shè)備精煉而效果*。
        低溫等離子體激發(fā)
        本工藝有40支至240支充有氣體的無(wú)管組成的低溫等離子體激發(fā)區(qū)，低溫等離子體區(qū)是工藝的核心技術(shù)，諸多機(jī)構(gòu)室稱在常壓下實(shí)現(xiàn)低溫等離子體。從大量的試驗(yàn)分析，常壓低溫等離子體要在工業(yè)中應(yīng)用存在的困難仍舊很大，本工藝借助低氣壓的無(wú)燈作為低溫等離子體的激發(fā)體大限 度地在無(wú)管區(qū)實(shí)現(xiàn)低溫等離子體區(qū)，由于低溫等離子體在能 量躍遷過(guò)程中具有強(qiáng)的能 量平衡性，在粒子撞擊中失能少，所以低溫等離子體作為原子激發(fā)是理想的一種能。在實(shí)踐應(yīng)用中，大的科題在于低氣壓究竟是多少帕?管內(nèi)充什么樣的氣體有經(jīng)濟(jì)價(jià)值?這沒(méi)有理論模型可言，只有通過(guò)實(shí)踐、實(shí)驗(yàn)、分析。
        等離子體化學(xué)反應(yīng)過(guò)程中，等離子體傳遞化學(xué)能量的反應(yīng)過(guò)程中能量的傳遞大致如下:
        (1) 電場(chǎng)+電子→電子
        (2) 電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團(tuán)、游離基團(tuán)) 活性基 團(tuán)
        (3) 活性基團(tuán)+分子(原子)→生成物+熱
        (4) 活性基團(tuán)+活性基團(tuán)→生成物+熱
        從以上過(guò)程可以看出，電子首先從電場(chǎng)獲得能量，通過(guò)激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時(shí)有部分分子被電離，從而成為活性基團(tuán);之后這些活性基團(tuán)與分子或原子、活性基團(tuán)與活性基團(tuán)之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。另外，電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強(qiáng)的物質(zhì)俘獲，成為負(fù)離子。這類負(fù)離子具有很好的化學(xué)活性，在化學(xué)反應(yīng)中起著重要的作用。