半導體潔凈室氣體分析監測系統介紹：
醋酸、草酸 、胺類、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、六甲基二硅胺烷（HMDS）、鄰苯二甲酸二辛酯（DOP）、鄰苯二甲酸二丁酯（DBP）、鄰苯二甲酸二乙酯（DEP）、異丙醇、丙酮、硼酸*酯、二甲苯、磷酸三乙酯---等其他有機物
空氣分子污染物 (AMC) 對于高科技生產過程是關鍵性因素，特別是微電子行業，有機污染物是生產過程中的消極因素，會導致高科技公司因產品質量問題而產生的成本增加。
無空氣分子污染物生產是理想的生產目標，通過污染物源頭控制、傳播控制，實時監控污染物濃度并結合多級過濾器以及新風系統來實現，持久監測AMC濃度，有助于掌握污染物源頭、穩定生產、預防過濾器突發性壽命減少等。
半導體潔凈室氣體分析監測系統亮點
一般特點
在線連續質量監測全部自動化系統
低濃度VOC監測
獨立分開測量有機物成份
Sub-ppb檢測限
集成計算機和控制軟件以及數據采集與處理功能。
工作原理
GC氣相色譜是分離多種復雜混合物常用的技術，這種技術依賴于揮發性有機混合氣體在色譜柱的多組份分離。
當不同的揮發性有機物從色譜柱分離出來后通過氫氣/空氣火焰離子檢測器探測電導率的變化，從而確定不同組份的濃度，*的吹掃和載氣系統可使儀器達到sub-ppb檢測限。
