制氧設備主要由壓縮空氣空氣凈化單元、壓縮空氣緩沖單元、氮氧分離單元、氮氣緩沖單元、控制單元組成。

壓縮空氣凈化單元

主要由過濾器、組合式干燥機等組成。

空氣壓縮機提供的壓縮空氣首先通入壓縮空氣凈化中。壓縮空氣先由氣水分離器、管道過濾器除去部分的油、水、塵，再經組合式干燥機進一步除油、水、塵，精過濾器除油、除塵，并由在緊隨其后的超精過濾器進行深度凈化。

設計嚴謹的空氣凈化確保了沸石分子篩的使用周期。經本凈化處理后的潔凈空氣可用于儀表空氣。

壓縮空氣緩沖單元

主要由空氣儲罐（含附件）組成。

低氣流脈動，起緩沖作用，從而減少系統壓力波動，使壓縮空氣平穩地通過壓縮空氣凈化，以便除去油水雜質，減輕后續PSA氧氮分離設備的負荷。同時，在吸附塔進行工作切換時，它也為PSA氧氮分離設備提供短時間內迅速升壓所需的大量壓縮空氣，使吸附塔內壓力很快上升到工作壓力，保證了設備穩定可靠的運行。

氮氧分離單元

主要由吸附塔、吸附劑、壓緊氣缸、消聲器、程控閥門及附屬儀表組成。

瑞氣公司設計的吸附塔具有以下技術特點：

• 采用專有的內部處理措施（內部噴砂除銹，并采用CCl4清冼后，內表面噴涂無機富鋅涂料），防止內表面在高氧狀態下銹蝕。
• 裝填技術，解決了提高制氧機可靠性和效率的關鍵問題。
• 氣體分布技術大大提高了分子篩利用率，氧氣回收率。
• 吸附床層保護裝置，大大提高了分子篩的使用年限；
• 優質穿透率，提高了吸附劑的吸附效率。
• 流程，提高了系統氧氣回收率。

氧氣緩沖單元

主要由氧氣緩沖罐（含附件）、過濾器、流量計、及其附屬儀表組成。

由PSA制氧機制取的氧氣將首先貯存于氧氣緩沖罐內。

氧氣緩沖罐作用：均衡產品氣的壓力及氧含量，并作為氧氮分離裝置的工藝罐提供再生氣源。

控制單元

主要由可編程序控制器、觸摸屏、氮氣分析儀、電磁閥、電控柜殼體組成。