工藝說明:
此化學配藥系統(CDS),用98%濃硫酸和55%氫氟酸作為原材料配給,分別通過槽罐車運送至各自儲罐,儲罐內襯聚四氟,通過酸提升泵至混酸罐進行配給,需要用DI水做稀釋,由于配酸是放熱反應,需冷凍水做循環冷卻降溫,配給完成通過提升泵至儲罐。根據客戶的使用情況通過磁力泵精確配送至生產產線。考慮到HF酸的特殊侵蝕性,所有配送管道使用GF生產的高純PVDF管道加外套透明PVC管,在各個單元配置儀表和漏酸氣探頭。在卸酸、配酸、輸送酸的各個階段設置不同權限的操作單元。所有的操作在中控室隔離操作完成,嚴格貫徹EHS的政策指令。CDS核心配藥系統的各個單元配置廢氣處理,廢酸、廢水處理單元,以及中控室配置EPS/UPS的電源數據保護。
工藝流程: