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單溫區滑軌式PECVD系統 BTF-1200C-SL-PEC 實驗室臭氧發生機

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱重慶開衡科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/5/31 9:05:42
  • 訪問次數175
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重慶開衡科技有限公司成立于2011年,是由一批有著高等學歷、優良品質、豐富經驗的專業人士組建的一家客戶驅動型企業。 公司自成立以來,不斷拓寬資源渠道,完善產品結構,積累專家智庫,提高本地化服務水平。致力打造科學研究、分析檢測相關實驗室設備和消耗品“一站式”采購平臺,幫助客戶建設一個完備可靠的實驗室。 一個渠道,無限解決方案。開衡科技提供所有實驗室儀器和設備的支持和供應管理,不限生產廠家,憑借我們專業技術和服務能力,幫助客戶用更少資源和更低成本提高生產力。 我們的產品包括:天平、箱類控溫系統、離心機、加壓電泳液相色譜、離子色譜、水質檢測儀器、樣品低溫存儲設備、細胞培養設備、樣品離心及濃縮處理系統、微孔板分析儀器、實驗室純水、恒溫產品、質量控制檢測設備、自動化設備、移液器,以及實驗室塑料制品和玻璃器皿、色譜柱、訂制實驗室家具等等。 開衡科技以豐富的選擇,便捷的網絡,迅速有效的售后服務,為重慶地區各大專院校、科研院所、工業單位,涉及制藥、環監、食品、農業、醫學、化工、石化、材料、電子等行業的科技工作者提供服務和支持。多年實干,公司在用戶中已贏得廣泛贊譽,并成為重慶地區科學儀器行業內受尊敬的供應商之一。
實驗室儀器設備,,
主要特點滑軌式PECVD系統能使整個實驗腔體都處于輝光產生區,輝光均勻等效,這種技術很好的解決了傳統等離子工作不穩定狀態,這樣離子化的范圍和強度是傳統PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現象
單溫區滑軌式PECVD系統 BTF-1200C-SL-PEC 實驗室臭氧發生機 產品信息


主要特點

滑軌式PECVD系統能使整個實驗腔體都處于輝光產生區,輝光均勻等效,這種技術很好的解決了傳統等離子工作不穩定狀態,這樣離子化的范圍和強度是傳統PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現象。

1.與傳統CVD系統比較,生長溫度更低。
2.使用滑軌爐實現快速升溫和降溫。
3.設備*的技術使得整管輝光均勻等效,均勻生長。

技術參數

產品型號:
BTF-1200C-SL-PECVD
實驗機理:
PECVD是借助于輝光放電等方法產生等離子體,輝光放電等離子體中:電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態物質發生化學反應,從而實現薄膜材料生長的一種新的制備技術。通過反應氣態放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應特征,從根本上改變了反應體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學氣相沉積法具有氣相法的所有優點,工藝流程簡單。
技術參數:
開啟式真空管式滑軌爐
反應腔體尺寸:Φ50Φ60Φ80Φ100
加熱元件:電阻絲(Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo
加熱區長度:440mm
恒溫區長度:200mm±1
工作溫度:1100
Z高溫度:1200
控溫方式:模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能
控溫精度:±1
升溫速率:10/min
爐門結構:開啟式
工作電源:AC220V /50HZ
額定功率:3KW
真空泵和閥門
采用KF25系列波紋管和手動擋板閥;
真空度可達10-3torr
數顯真空測試儀可直觀的顯示數值。
質量流量計控制氣路系統(可來圖訂制)
內部裝有高精度質量流量計可準確的控制氣體流量;
氣體流量范圍可選,誤差為±1.5%
一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥;
不銹鋼針閥安裝在左側可手動控制混合氣體輸入。
射頻電源與匹配器
電源:單相50/60Hz 220v±10%
加熱(功率)電源:2.5KW25A
控制柜電源空氣開關:32A空氣開關
薄膜生長室溫度:室溫~ 1200
射頻頻率:13.56MHz
射頻功率輸出范圍:5~500W
細節展示
外型尺寸:
爐體:550×380×600mm
爐體加滑軌1500x380x620mm
供氣及真空系統:600×600×600mm
凈重:
150Kg
認證和
CE認證
號:ZL.0 (產品 ,防偽必究)


15700106413
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