技  術  參  數

序號

項目名稱

詳細參數

1

主要應用

1.表面清潔  2.表面活化  3.鍵合  4.去膠  5.金屬還原  6.簡單刻蝕  7.去除表面有機物  8.疏水實驗   9.鍍膜前處理等

2

主要特點

1．實時檢測和顯示真空度，真空度準確使得機器在智能控制下有了可靠的依據

*2．艙體、管路、閥體全部為不銹鋼材料，耐用防腐蝕

*3.采用電容式 Plasma激發，實驗效果穩定，均勻可靠

*4．采用薄膜按鍵+液晶屏顯示控制，手動，自動兩種模式任意切換

5．程序化設計，預先編輯好程序，儀器自動完成實驗

6.無需任何耗材，使用成本低，無需特殊進行維護，在日常使用中保持儀器清潔即可，密閉真空環境下完成實驗避免二次污染

3

技術規格

艙體尺寸： 255X150（直徑）mm ，不銹鋼艙體

頻率：13.56MHz 頻率偏移量＜0.2MHz  電源220V/50Hz

射頻功率:150W，10到150W無極可調，精度：1瓦

時間設定：1秒到99分59秒

?氣體穩定時間：60秒  氣路設置：內置兩路MFC控制

外形尺寸: 552X590X295mm 整機重量： 28Kg

4

基本配置

主機 + 真空系統（真空泵 油霧過濾器  真空管  法蘭） + 外加氣體軟管   樣品托盤 + 說明書 + 電源線 + 合格證