太陽能表面檢測系統技術參數
LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h
測量時間：2~10秒
測量原理：非接觸、共聚焦
X/Y方向：平臺移動范圍200mmX200mm，馬達驅動，zui大移動速度40 mm/s，X/Y方向分辨率：0.3μm
Z方向測量范圍：500μm，Z方向分辨率：1nm
物鏡：10X、20X、50X、100X(可選)
離軸攝像頭(10X)，zui大視野8 x 6 mm2(選配)
計算機：高性能計算機控制系統，功能強大且附帶全面解決方案的自動化軟件
工作電源：100-240V, 50-60Hz，input: 550 VA
材質：鋼鐵、橡膠、大理石
潔凈室等級: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)
太陽能表面檢測系統
μsurf系列產品采用多孔共聚焦技術，結合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉盤取代偵測器的孔洞，再將物鏡垂直移動，以類似斷層攝影方式，可在短時間內(約幾秒)精確量測物體的三維數據。其測量方式是非接觸式，不會破壞樣品的表面，不需要在真空環境下測量，也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本，其在嚴酷的工作環境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在測量漸變較大的高度時，跟其他方法相比，可以更精確量測物體高度，建立3D立體影像，優勢相當明顯。
NanoFocus μsurf solar太陽能電池3D顯微鏡，可以對太陽能電池片進行自動化測量，廣泛適用于單晶、多晶和薄膜太陽能電池片，一分鐘內可以自動測量12個區域，是質量檢驗和生產控制中的zui有效的光學三維表面測量和分析工具。可以進行太陽能電池片柵線的3D形貌表征、高寬比測量，制絨后3D形貌表征（單晶金字塔大小、數量、角度、比表面積，多晶腐蝕坑形貌、密度），粗糙度分析，以及減反射層腐蝕表面的測量，薄膜小孔的檢測和自動分析。
作為太陽能行業必要設備，μsurf solar太陽能電池3D顯微鏡從硬件到軟件均是針對太陽能行業定制開發出來的，其測量樣品的平臺帶有真空吸盤，可以承受210mmX210mm的樣品，能確保太陽能電池片移動時不破壞。適用μsurf solar有利于控制生產工藝,提高效率,是質量的可靠保證。
太陽能行業解決方案
μsurf solar 從硬件到軟件是專為滿足太陽能行業實驗室和生產過程檢測需求的一個解決方案，測試范圍為米級的超長行程使得檢測整個薄膜太陽能模塊得以實現，結合真空吸盤夾具和專門的算法，您可以更安全更有效地測量與分析反射表面以達到業界*的測量結果。
