型號:ALD-GSL-4
產品概述:ALD-GSL-4是一套2通道ALD控制系統,包含4通道質子流量計進行氣體的混合和輸送,可與本公司任意管式爐或腔體進行DIY,組建一套ALD系統,用于薄膜的制備或者粉末表面的包覆復合。LCD觸摸屏可方便的對每一通道ALD的脈沖時間以及氣體流量進行控制。
工作電壓&功率 | AC220V 單相 50/60Hz 100W |
PLC觸摸屏 | l 通過6″PLC觸摸屏對ALD蒸汽脈沖時間、氣體流量等參數進行設定控制
l 可控制2個ALD閥門的脈沖時間以及循環次數(毫秒級)
l 可控制4通道的氣體流量(4通道質子流量計,精度±0.2%F.S)
l 真空壓力顯示
l 請點擊左圖查看控制界面
l RS485 通訊接口和PC軟件可以連接到電腦上,進行遠程控制 |
ALD進氣閥 | l 對于兩種前驅體氣體的沉積,需2個ALD進氣閥進行控制(不包含在設備中)
l 客戶可使用自己已有的ALD閥或點擊下圖選購本公司ALD閥 |
流量控制 | l 四通道質子流量計控制系統可用于4路氣體的通入和混合 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM
l 注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用
l 工作溫度:5~45oC 耐壓:3MPa
l 精度: ±1.5% FS 線性: ±1%F.S.重復精度: ±0.2%F.S. |
通氣管道 | l 內置不銹鋼混氣罐
l 內部連接管道為1/4”不銹鋼管
l 外部通氣管道為1/4”聚四氟管 |
混氣罐 | Φ80x120mm |
截止閥及配件 | 316不銹鋼針閥 Φ1/4” 不銹鋼管 |
尺寸 | 600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H) |
質量認證 | CE認證 |
質保期 | 一年保質期,終生維護 |
可選配件 | l 可選購氣液混合裝置用于蒸汽的通入,點擊下圖查看詳情
l 客戶可另外付費由本公司對ALD控制單元以及管式爐系統進行連接組裝。
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