水冷板-真空箱氦檢漏回收系統
回收系統部分
真空箱部分本設備適用對水冷板(以下簡稱工件)進行干式檢漏。主要具有以下功能:
對被檢工件抽真空保壓檢大漏;
對被檢工件充注氦氣;
真空箱法氦質譜檢測,自動判斷工件漏率合格與不合格;
回收并循環使用氦氣;
PLC控制,觸摸屏操作,自動檢測。
系統技術參數
檢測漏率:5×10-8Pa.m3/S;
真空箱工作節拍:180S/兩箱,每箱放2件,含人工操作時間20s;
檢漏儀開檢(真空箱內)壓力:≤20pa;
氦氣回收率:≧98%;
工件抽空真空度:≤1000pa;