1:
產品特點:
光學面材料:Au,Ni,Mo,etc...
*的復制技術
光譜范圍:EUV(60-200eV)
SXR(200-2000eV)
j鏡片形態:橢球鏡,拋物面鏡,也可根據需求定制其他非球面鏡
典型表層粗糙度:Ra≈0.3-2nm
典型尺寸:直徑(D)5-250mm;長度(L)10-100mm
2.MFO
MFO是一款應用于軟X射線和EUV波段的光學器件,有兩組相互垂直的極薄反射鏡組成,光子通過掠入射角進行反射。MFO一般由玻璃,硅或金屬等薄片組裝而成。
可根據客戶要求定制多種形狀(如龍蝦眼,Kirkptrick-Baez等)
產品特點:
光學面材料:Au,Ni,Mo,etc...
寬視場(max±60°)
薄片厚度:30μm-1mm
孔徑:3x3mm-300x300mm
能量范圍:50eV-10keV)
平面,橢圓,和一般非球面
玻璃、硅和金屬
表層材料:Au, Ni, Mo, Pt, W...
1.基本參數:
Figure1: Geometry of an ellipsoidal mirror | Figure2: Geometry of a parabolic mirror |
Type | L | D1 | D2 | Z1 | Zd | Divergence |
[mm] | [mm] | [mm] | [mm] | [mm] | [mrad] | |
RE_08 | 50 | 6 | 10.5 | 72 | 1000 | 12 |
RE_09 | 100 | 56.6 | 70 | 45 | 300 | 450 |
RE_10 | 100 | 78 | 113 | 2450 | 2660 | 90 |
RO_001 | 68 | 11.6 | 14 | 145 | 270 | X |
Figure3: Parameters of standard mirrors
Figure4: Ellipsoidal mirror, Ni active surface, L=100mm | Figure4: Ellipsoidal mirror, Au active surface, L=80mm |
2.MFO
激光等離子體源, Xe和Kr EUV輻射的聚焦強度分布。 | MFO elliptical Kirkpatrick-Baez system. MFO橢圓K-B系統。 |