真空調節器是一種復合式調節器, 當系統真空管路的真空度增高時, 真空室的真空度隨之增高, 作用在上膜片上的壓力差增大，上膜片克服彈簧的阻力，將通氣螺栓的通氣孔打開，真空進入緩氣室，緩氣室的氣螺栓孔徑與截流環孔徑相配，使得下膜片帶著重錘緩慢上移，大氣從重錘開啟的縫隙入真空管路。
類型1：真空調節器
真空調節器，如Equilibar EVR系列真空調節器，通過真空泵和過程之間的節流來控制過程真空。這種類型，通常被稱為真空調節器，實際上是背壓調節器，因為壓力控制在入口處。調節器關閉以增加系統壓力（或降低真空水平）。
在右邊的簡化示例中，真空調節器使用彈簧加載隔膜來控制真空壓力。過程真空位于隔膜的下側，大氣壓力位于頂部。彈簧向上拉以提供負設定點偏差。當過程壓力變得太低（真空太強）時，隔膜降低，限制過程和真空供應泵之間的氣流，從而降低真空水平。當壓力增加到設定點以上（真空度太低）時，柱塞上升并且過程和供應泵之間的氣流增加，從而增加真空水平。
類型2：真空斷路器和真空釋放調節器
另一種類型的真空控制器使環境空氣進入真空系統以控制真空壓力。這種類型的調節器通常稱為真空斷路器或真空釋放調節器。這些調節器實際上是一種減壓調節器，因為壓力控制在出口處。調節器打開以增加過程壓力（或降低真空度）。
真空釋放調節器通常使用彈簧加載的隔膜，其上側具有大氣壓力并且在下側處理真空壓力。在右邊的這個簡化示例中，彈簧實際上將隔膜向上拉以提供負設定點壓力。當過程壓力變得太低（真空度太高）時，柱塞迫使閥座向下，允許更多的外部空氣進入過程。隨著過程壓力增加（真空壓力增加）朝向設定點，柱塞再次上升以限制空氣的流入。
