檢漏方法通常有兩種：一種是氣溶膠光度計檢漏法；另一種是塵埃粒子計數器（OPC）檢漏法。檢漏包括濾材、過濾邊框和支撐架等在內的整個過濾系統。檢測時，在過濾器的上風向注入氣溶膠，在下風向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描，或在風管中的過濾器下風向采樣。（1）氣溶膠光度計檢漏法①進行已裝過濾器檢漏前，應完成風速合格性檢測。②檢測時，需在過濾器的上風向注入特殊材質的氣溶膠樣品。DOP（鄰苯二甲酸二辛酯）是早使用的一種氣溶膠樣品，距今已有50年歷史，但由于其致癌作用，逐漸被PAO（聚a烯烴）取代。電子廠房潔凈度測試

PAO屬于四類合成基礎油，它是常用的合成潤滑油基礎油，具有良好的黏溫性能和低溫流動性。目前，制藥工業已*采用PAO-4（運動黏度4mm2/s），同時也是通用氣溶膠光度計測試的氣溶膠樣品，發生濃度為（10~100）μg/L，濃度低于20μg/L時檢漏的靈敏度欠佳，高于80μg/L時，濃度過高會污染過濾器。③按規定的掃描速度移動采樣頭往復掃描，采樣速度為15cm/s。采樣頭距過濾器出風面和框架結構約3cm，應掃遍過濾器的整個出風面、過濾器周邊、邊框與安裝構架之間的密封處及安裝構架的結合點。④當氣溶膠光度計下游顯示讀數超過0.01%時，持續停留測量一段時間，選取大讀數位置判定為泄露位置。（2）塵埃粒子計數器檢漏法塵埃粒子計數器檢漏法通常用于設施不允許有油基揮發性檢測氣溶膠，或推薦使用固體氣溶膠的場合。電子工業常用該方法進行過濾器檢漏。①檢測時需在過濾器的上風向注入特殊材質的氣溶膠樣品，可選用PSL標準物質，數量中值粒徑為（0.1-0.5）μm。②檢測時，在過濾器的潔凈側掃描，掃描速度保持5cm/s，發現計數多于采樣時間內可接受的觀測計數時，可能存在滲漏。采樣頭移至計數大的地方，復測計數多于靜止時間內合格的觀測計數，則表明滲漏。電子廠房潔凈度測試