測定潔凈室(區)的風速,風速均勻性和送風量要區分單向流和非單向流。單向流潔凈室(區)需要給出風速和風速分布以及送風量,通過測量風量可以計算出換氣次數。風速測點應距過濾器出風面約150mm~300mm,通常情況下選取距高效過濾器300mm垂直于氣流的截面作為測試平面,測量點數取測量面積(以平方米計)10倍平分根,且不少于4個測量點,每個測試點不少于10s,記錄風速的平均值、大值、小值。非單向流潔凈室(區)應逐一測量每個送風口的風量,為了排除送風口局部氣流的擾動和氣流噴射的影響,應采用風罩測量末端過濾器或送風散流器的總送風量,記錄風速的平均值、大值、小值,并計數換氣次數。鹽城電子廠房潔凈度測試
潔凈室與周圍的空間必須維持一定的壓差,不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa,潔凈區與非潔凈區之間的壓差不應小于5Pa,潔凈室與室外的壓差不應小于10Pa。壓差是保證潔凈室(區)及相關受控環境防止污染和交叉污染,排除外界污染影響的重要措施和手段。檢測時要求關閉所有門窗和隔斷,由高壓向低壓,由平面布置上距室外遠(內部)的房間開始,依次向外測定。測量點應設在潔凈室中央,遠離可能影響測點局部壓力的送回風口。鹽城電子廠房潔凈度測試