低溫等離子體廢氣凈化裝置低溫等離子體被稱作除固態、液態和氣態之外的第四種物質存在形式。等離子體是由電子、離子、自由基和中性離子組成的導電性流體，整體保持電中性。按離子的溫度，等離子體可分為熱平衡等離子體（熱等離子體）和非平衡等離子體（低溫等離子體）。在熱平衡等離子體中，電子與其他離子的溫度相等，一般在5000K以上；在非平衡等離子體中，電子溫度一般要高達數萬度，而其他離子的溫度只有300—500K。
低溫等離子體廢氣凈化裝置產品結構特點
1、凈化效率高，性能穩定;
2、設備風阻低，無需加人抽風設備，投資低;
3、運行成本低，耗電小;
4、維護保養簡便，費用低
5、安全可靠，設備采用敞開式排放形式，不設封閉高壓，高溫區;
6、使用壽命長，安裝簡便，操作過程實行全自動化;
7、使用壽命長，安裝簡便，操作過程實行全自動化;
低溫等離子體技術在廢氣處理中的應用隨著工業經濟的發展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業產生的揮發性有機廢氣也日漸增多，這些廢氣不僅會在大氣中停留較長的時間，還會擴散和漂移到較遠的地方，給環境帶來嚴重的污染，這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康產生極大的危害；另外工業煙氣的無控制排放使性的大氣環境日益惡化，酸雨(主要來源于工業排放的硫氧化物和氮氧化物) 的危害引起了各國的重視。由于大氣受污染而酸化，導致了生態環境的破壞，重大災難頻繁發生，給人類造成了巨大損失。因此選擇一種經濟、可行性強的處理方法勢在必行。
