在電子壓力開關中使用的彈性元件有單圈彈簧管、隔膜、薄膜盒和波紋管等。開關元件有SMC磁性開關、水銀開關、微開關等。壓力傳感器采用單晶硅智能壓力傳感器，該傳感器具有精度高(正負0.075%)、高穩定性(高于0.1%fs/年)、高超壓和高靜壓(壓力阻力16mpa)和范圍偏移比(20:1)的特點。采用單晶硅智能壓力傳感器作為傳感器部件，保證了智能電子壓力開關的控制精度和可靠性。 信號調節部分由集成的運輸和電子SMC元件組成，可以調節壓力傳感器的信號，將其轉換為微型計算機所能接受的信號，并將其發送到微機上。
SMC真空壓力開關作用和分類
真空壓力開關是用于檢測真空壓力的開關。當真空壓力未達到設定值時，開關處于斷開狀態。當真空壓力開關達到設定值時，開關處于接通狀態，發出電信號，智慧真空吸附機構動作。當真空系統存在泄漏、吸盤破損或氣源壓力變動等原因而影響到真空壓力大小時，裝上真空壓力開關便可保證真空系統安全可靠的工作。
SMC真空壓力開關按功能分，有通用型和小孔口吸著確認型；按電觸點的形式分，有無觸點式和有觸點式。一般使用的壓力開關，主要用于確認壓力，但真空壓力開關確認設定壓力的工作頻率高，故真空壓力開關應具有較高的開關頻率，即響應速度要快。
ZSE2-0X-15L-D ZSE4-01-25-X102 ZSE60F-A2-22L-F
ZSE1-01-15 ZSE2-0X-55 ZSE4-01-26 ZSE60F-B2-22L-MD
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ZSE1-01-16L ZSE2-OX-15CL ZSE4B-01-25 ZSM1-015
ZSE1-01-16L-X119 ZSE2-OX-15CN ZSE4B-01-25L
