進(jìn)口冷凝泵,德國巴赫進(jìn)口水泵(BACH)
進(jìn)口冷凝泵產(chǎn)品概述:
Summary of Imported Condensation Pump Products:
泵有臥式、單級或多級、懸臂式及帶誘導(dǎo)輪等多種結(jié)構(gòu)形式。主要由泵體、泵蓋、葉輪、軸、軸套和支承部分構(gòu)成。泵為臥式懸臂單級冷凝泵;泵為臥式懸臂兩級冷凝泵;是臥式懸臂帶誘導(dǎo)輪單級冷凝泵。軸承采用懸臂式托架裝有兩個滾動向心球軸承支承。可承受未被平衡的軸向力,采用稀油潤滑。泵是單級單吸懸臂式離心泵,主要由進(jìn)水口、泵體、葉輪、軸和軸套等零件組成。伸出端由一個滑動軸承和一對滾動軸承支承,滾動軸承用油脂潤滑。
泵的軸封采用軟填料密封或機(jī)械密封。
泵的傳動通過彈性聯(lián)軸器由電機(jī)直接驅(qū)動,從電機(jī)方向看,泵均為逆時針方向旋轉(zhuǎn)
進(jìn)口冷凝泵特點:
Imported condensation pump features:
進(jìn)口低溫泵(冷凝泵)是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵,又稱冷凝泵。低溫泵(冷凝泵)是獲得清潔真空的極限壓力低、抽氣速率大的真空泵,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn),以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。
進(jìn)口冷凝泵特征:
Imported condensation pump characteristics:
利用低溫表面冷凝氣體的真空泵,又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率大、極限壓力低的清潔真空,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn),以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置。
在低溫泵內(nèi)設(shè)有由液氦或制冷機(jī)冷卻到極低溫度的冷板。它使氣體凝結(jié),并保持凝結(jié)物的蒸汽壓力低于泵的極限壓力,從而達(dá)到抽氣作用。低溫抽氣的主要作用是低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕集。①低溫冷凝:氣體分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的氣體層上,其平衡壓力基本上等于冷凝物的蒸氣壓。抽空氣時,冷板溫度必須低于 25K;抽氫時,冷板溫度更低。低溫冷凝抽氣冷凝層厚度可達(dá)10毫米左右。②低溫吸附:氣體分子以一個單分子層厚 ( 厘米數(shù)量級)被吸附到涂在冷板上的吸附劑表面上。吸附的平衡壓力比相同溫度下的蒸氣壓力低得多。如在 20K時氫的蒸氣壓力等于大氣壓力,用 20K的活性炭吸氫時吸附平衡壓力則低于 帕。這樣就可能在較高溫度下通過低溫吸附來進(jìn)行抽氣。③低溫捕集:在抽氣溫度下不能冷凝的氣體分子,被不斷增長的可冷凝氣體層埋葬和吸附。
一般說來,泵的極限壓力就是冷板溫度下的被冷凝氣體的蒸氣壓力。溫度為120K時,水的蒸氣壓已低于 帕。溫度為20K時,除氦、氖和氫外,其他氣體的蒸氣壓也低于 帕。但由于被抽容器和低溫冷板的溫度不同,泵的極限壓力高于冷凝物的蒸氣壓。對于室溫下的容器,低溫板為20K時,泵的極限壓力約為冷凝物蒸氣壓力的4倍。
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