電子無(wú)塵車間潔凈度等級(jí)要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控,另外該類潔凈室對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格。其中對(duì)濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)極易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。一般來(lái)說(shuō),電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對(duì)濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。 這時(shí)可有效地消除靜電,并使人也感覺(jué)舒適。
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