PVA-TePla 射頻等離子體清洗機(jī)(*)
型號(hào):IoN 40 (M4L 升級(jí)版), IoN 100, IoN 100WB, IoN 300
典型應(yīng)用:
表面精密清潔 Surface Precision Cleaning
表面活化 Surface Modification
提高表面粘合性 Bond Strength Enhancements
改變表面親水性/疏水性 Hydrophilic/Hydrophobic
分子接枝 Molecular Grafting
涂層 Plasma Deposited Coatings
去除光刻膠 Photo-resist Stripping
規(guī)格參數(shù):
13.56MHz風(fēng)冷射頻電源(0~600w可調(diào),可選0~300W,0-1000W),
高靈敏快速自動(dòng)匹配功能
陽(yáng)極表面處理鋁制腔體,
水平抽卸極板/垂直極板/側(cè)壁極板/水冷極板,
不銹鋼防腐蝕MFC,
多至6路氣體,
分級(jí)密碼權(quán)限管理,
PC工控機(jī)控制,運(yùn)行數(shù)據(jù)自動(dòng)存儲(chǔ),
局域網(wǎng)數(shù)據(jù)庫(kù)自動(dòng)導(dǎo)入,
系統(tǒng)自動(dòng)升級(jí)、更新,
觸控屏圖形化界面
外形尺寸:775×723×781 mm
可選配法拉第桶
可選配壓力控制系統(tǒng)
可選汽相MFC
可選高精度真空規(guī),
可選液態(tài)單體操作裝置
認(rèn)證:
CE 認(rèn)證
EN 61010
EN 61326
Semi E95
USP Class VI
FDA CFR Title 21 Part 11
CISPR 55011
ISO 9001
NFPA79
NFPA70